・マスクに付着したレジストを除去
・マスクに付着したパーティクルを除去
・専用薬液開発で環境負荷低減

・低温で強力照射を実現
・装置サイズはコンパクト
・低価格なモデルも用意

1. 気泡なしの貼り付け作業を瞬時に実施
2. 安定した作業で高い生産効率を発揮
3. 異なるサイズや形状にも柔軟対応（セミ・カスタム）

1μｍ以上のパーティクルとレジスト残渣を完全除去
環境に優しいマイルドな薬液の提供も含めて、従来のアセトンや硫酸過水等の危険な薬液からの解放を実現しました

全自動…カセットto カセットで、処理します。
常温照射…放射熱によるワークへのストレスがありません。
長寿命…寿命の長さでランニングコスト低減に役立ちます。

ウェハーマウンター／テープマウンターは、『ウェハー』『ダイシングフレーム』『各種テープ』を気泡なしで 瞬時に貼り付けるフィルム貼り付け装置です。

研究開発を始めセミプロダクション用途まで、目的に合わせ幅広く装置の選択ができます。

フィルム、シートをピンと張ったままの状態でグリップする二重リング構造、強化プラスチック製のグリップリング。
伸縮性のあるフィルムや布、紙類をインナーとアウターではさみ込みピンと張りつめた状態をキープできるダブルリング（二重リング）。
用済みになれば簡単に取り外す事ができ、くり返しの使用が可能。

■マスクに付着した1μm以上のパーティクルと
　レジスト残渣を一挙に完全除去。

（１）薬液洗浄→リンス→ソフトスクラブ洗浄→
　　リンス→乾燥の全工程を自動化。

（２）オペレーターはマスクを脱着するだけ。

（３）フォトマスクのクリーン化で露光プロセスの
　　品質向上と歩留り向上に大きく貢献。

ダイシング／分割後のチップハンドリングが著しく向上します。

ダイシング／分割されたウェーハーをX-Y方向に均一に拡張し、チップ間隔を任意のギャップに広げます。

UV硬化樹脂用 LED光源 UV照射装置をカスタム仕様で開発します。
テクノビジョンは高出力LEDドライバーの開発により高圧水銀灯を凌ぐ250mmW/cm2 365nm at 10mm work distance の面照射出力を達成しております。
この高出力と数ある特長を生かした光源技術で、UV硬化樹脂の開発のお手伝いをさせていただきたいと願っております。

マスク、ウェーハ、各種基板に対応

●業界随一の小型、軽量、小フットプリント装置
●200m／8インチウェーハー対応の廉価版モデル
●ダイシング工程・BG／バックグラインド用途

流体を汚染させる事無く瞬間加熱を行うヒーター。

■超純水用（QHシリーズ）：
　　加熱部に高純度石英を採用
■不活性ガス／クリーンドライエアー用（SHシリーズ）：
　　加熱部にステンレス（SUS316－EP処理）を採用

⇒装置組込み、既設ラインに組込み等インライン設置に最適。

“UV-208／312”は、UV光源に高密度グリッド形状の低圧水銀ランプを採用し、 ワーク全エリアを均一に照射することができ、ワーク表面の有機物汚染の除去と表面改質を行う紫外線オゾン洗浄装置。
ファイナル洗浄として威力を発揮。

■■スモールサイズからラージサイズまで■■

テクノビジョンのフォトマスク洗浄装置は、スクラブ洗浄・リンス・乾燥を一台で行いフォトマスクに付着したゴミや汚れを洗浄するマスククリーナーです。

弊社では多様なお客様からのご要望にお応えするため、スモールサイズからラージサイズまでの幅広いフォトマスクに対応した洗浄装置、TW-200、TW-300、TW-700、TW-1000をご提供しています｡

・R&D、小ロット生産対応機種
・200mm用カセットまで洗浄できる

【精密洗浄を目的としたコンパクトな洗浄装置】

ハイエンド、高付加価値製品の製造プロセスで用いられるウェハーカセット、キャリアー、ボックス等の精密洗浄を目的とした少量多品種生産用途のコンパクトな洗浄装置です。