UV（紫外線）フィルム硬化装置は、特定波長をもつ紫外線を照射することにより、UVフィルムの粘着剤が硬化し、粘着力を低下させウェハーとフィルムの剥離を容易にする装置です。 LED光源仕様全自動UV硬化装置【UVC-200A】は、常温／室温照射、瞬時の光源立ち上がりが可能なCtoCのフルオートUV硬化装置になります。 少流量N2パージ機能を内蔵、波長365nmを採用し全UVテープに対応、照度ばらつきを解消しています。 光源の交換は10年以上不要で、ダイシング工程とバックグラインド工程に適応可能。 半導体製造におけるダイシングプロセスにて多くの実績があります。

◆特徴

	●	低消費電力
		LED光源により省電力を実現
	●	長寿命
		長寿命のLEDを採用
	●	トータルコスト削減
		イニシャル、ランニングのコスト低減

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◆テクノビジョンの製品ラインナップ

	UV照射装置（LED光源仕様） 高圧水銀灯をしのぐ高出力 LED光源搭載のUV照射装置 UV硬化樹脂用 LED光源 UV照射装置をカスタム仕様で開発します。 テクノビジョンは高出力LEDドライバーの開発により高圧水銀灯を凌ぐ250mmW/cm2 365nm at 10mm work distance の面照射出力を達成しております。 この高出力と数ある特長を生かした光源技術で、UV硬化樹脂の開発のお手伝いをさせていただきたいと願っております。 ＞詳細はこちら
	UVフィルム硬化装置／UV照射装置 UV硬化型ダイシングフィルム用の UV照射装置 ●業界随一の小型、軽量、小フットプリント装置 ●200m／8インチウェーハー対応の廉価版モデル ●ダイシング工程・BG／バックグラインド用途 〈高圧水銀ランプ仕様〉 〈ブラックライト仕様〉 〈LED光源仕様〉 ＞詳細はこちら

【洗浄装置関連】
	汎用洗浄装置　卓上タイプ　TWC-200 カセット洗浄装置 フォトマスク洗浄装置 マスク洗浄装置　TWC-300 全自動フォトマスク洗浄装置 TWC-200A UV照射装置 スーパークリーンヒーター
【後工程・組立関連】
	ウェーハーマウンター／フィルムマウンター ウェーハーエキスパンダー／ウェハー拡張装置 グリップリング