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製品詳細
株式会社テクノビジョン
UV(紫外線)硬化装置 UVCシリーズ 無料評価用テスト受付中
短時間で効率的にUV硬化
無料評価用テスト受付中
・低温で強力照射を実現
・装置サイズはコンパクト
・低価格なモデルも用意
- 株式会社テクノビジョン
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【所在地】〒350-0165埼玉県比企郡川島町中山2078
【電話番号】049-299-1385 【FAX番号】049-299-1386
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UV(紫外線)硬化 装置とは、ウェハ加工(ダイシングやバックグラインド)工程において使用される UV/紫外線硬化タイプのテープに、加工後、波長 365nm のUVを照射する装置です。
UVを照射することにより強い接着力を有していたフィルム/テープからチップやウェーハを簡単に剥離することが出来ます。
テクノビジョンでは、光源の異なる3タイプのUV(紫外線)硬化装置を提供していますので、お客様の使用要件に基づき、選択することが可能となっています。
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| UVC-300(LED光源) | UVC-408(水銀ランプ) | UVB-608(ブラックライト) |
| ◆主な特長 |
| ● | 要件に合わせLED光源、高圧水銀ランプ、ブラックライトの3種類から選択可能 | |
| ● | 低温処理で、ワークに対する熱ダメージも少なく硬化が可能 | |
| ● | 装置サイズは小さく、設置スペースが抑えられるので、製造現場の省スペース化に貢献 |
| 先進的なLED-UV光源タイプ |
| ● | 高性能 | 250mW/cm2の照射出力で優れた硬化性能を発揮します。 | ||
| ● | 常温処理 | 常温照射により、ワークへのダメージ低減。 | ||
| ● | 長寿命 | 従来の高圧水銀ランプに比べ、長寿命のLED光源を採用 | ||
| ● | 省エネ | 電力消費は高圧水銀ランプに比べはるかに少なく、コスト削減に効果的 | ||
| ● | 安全 | 低温のためランプ交換も安全に作業が可能 |
| ※LED-UV 光源タイプには、”カセット to カセット”の自動機も用意 |
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| 高圧水銀ランプ |
| ● | 均一照射 | ワークを回転させウェハー全領域に均一にUV照射を実施。 | ||
| ● | 低温照射 | 高圧でありながら低圧水銀ランプ並みの低温照射を実現 | ||
| ● | 小型装置 | 小フットプリントで、設置スペース減少による効率化が図れる |
| ブラックライト |
| ● | 低価格 | 光源にブラックライトを使用することで価格を抑えたUV硬化を提供 | ||
| ● | 楽々操作 | 容易なボタン操作で、作業を実施することが可能 | ||
| ● | 簡単交換 | 光源がブラックライト蛍光灯なので、交換も容易 |
| ★ | 高性能 | |
| LED-UV光源にすることで、照射出力250mW/cm2でUV硬化を実現 |
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| ★ | 均一照射 | |
| 高圧水銀灯ランプのモデルでは、ワークを回転させることで均一な照射が可能 |
| ★ | 長寿命 | |
| LEDランプは水銀ランプに比べ長寿命 |
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| ◆無料照射テスト好評受付中! |
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| ※装置によっては、デモ機の無料お貸出しも可能となっておりますので、遠慮なくお気軽にご相談ください。 |
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| ■連絡先: |
| ・(株)テクノビジョン:会社概要(別画面で開きます) ・電話:049-299-1385 ・e-mail: technovision.info@techvision.co.jp |
| ◆製品ラインナップ |
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