【TWC-200A】は、露光工程で使用されるマスクの洗浄に特化して開発されたカセットtoカセットの全自動フォトマスク洗浄装置です。 マスクに付着したレジストとパーティクルを同時に除去することが可能。 レジスト除去に関しては、大手薬品メーカーと共同で専用洗浄剤を開発し、除去効果を大幅に向上させるとともに安全性や地球環境にも配慮しています。 オペレーターはマスクを装填したカセットを乗せるだけで使用可能。 熱硫酸や硫酸過水などの危険な薬品にさらされることがなく、安全性を高め、露光プロセスの品質向上と歩留まり向上に大きく貢献。

◆特徴

	●	レジスト除去
		ポジタイプ／ネガタイプレジストの両方に対応
	●	パーティクル除去
		パターンにダメージを与えないソフトスクラブ洗浄
	●	両面洗浄に適した縦型設計
	●	乾燥シミ、ウォーターマークのない完全乾燥

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◆テクノビジョンの製品ラインナップ

	フォトマスク洗浄装置 TWC-300 露光工程（コンタクト、プロキシミティー）の 経費を劇的に削減 マスクに付着した1μm以上のパーティクルとレジスト残渣を一挙に完全除去。 薬液洗浄→リンス→ソフトスクラブ洗浄→リンス→乾燥の全工程を自動化。 オペレーターはマスクを脱着するだけ。 フォトマスクのクリーン化で露光プロセスの品質向上と歩留り向上に大きく貢献いたします。 ＞詳細はこちら
	フォトマスク洗浄装置 フォトマスクの精密両面スクラブ洗浄装置 蓄積された洗浄技術及び乾燥技術でマスクの高清浄化。 マスクのクリーン化は、製品歩留まり向上の必須条件。 蓄積された洗浄技術及び乾燥技術でマスクの高清浄化に大きく貢献。 スモールサイズからラージサイズまでの幅広いフォトマスクに対応した装置、4機種をご用意。 ＞詳細はこちら

	UV照射装置（LED光源仕様） 高圧水銀灯をしのぐ高出力 LED光源搭載のUV照射装置 UV硬化樹脂用 LED光源 UV照射装置をカスタム仕様で開発します。 テクノビジョンは高出力LEDドライバーの開発により高圧水銀灯を凌ぐ250mmW/cm2 365nm at 10mm work distance の面照射出力を達成しております。 この高出力と数ある特長を生かした光源技術で、UV硬化樹脂の開発のお手伝いをさせていただきたいと願っております。 ＞詳細はこちら
	LED光源仕様 全自動UV硬化装置 UVC-200A 業界初！　高圧水銀灯以上の性能発揮に成功いたしました ●全自動…カセットto カセットで、処理します。 ●常温照射…放射熱によるワークへのストレスがありません。 ●長寿命…寿命の長さでランニングコスト低減に役立ちます。 ＞詳細はこちら

【洗浄装置関連】
	汎用洗浄装置　卓上タイプ　TWC-200 カセット洗浄装置 UV照射装置 スーパークリーンヒーター
【後工程・組立関連】
	ウェーハーマウンター／フィルムマウンター ウェーハーエキスパンダー／ウェハー拡張装置 UVフィルム硬化装置／UV照射装置 グリップリング