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株式会社テクノビジョン

UVフィルム硬化装置／UV照射装置

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UV硬化型ダイシングフィルム用のUV照射装置

●業界随一の小型、軽量、小フットプリント装置
●200m／8インチウェーハー対応の廉価版モデル
●ダイシング工程・BG／バックグラインド用途

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株式会社テクノビジョン

【所在地】〒350-0165埼玉県比企郡川島町中山2078

【電話番号】049-299-1385 【FAX番号】049-299-1386

【URL】http://www.techvision.co.jp/

〈高圧水銀ランプ仕様〉

〈ブラックライト仕様〉

〈LED光源仕様〉

高圧水銀ランプ仕様

200mm/8”対応装置と300mm/12”対応装置がございます。ワークを回転させながら照射させるため、ウェーハー全領域に均一な照射を行なう事が出来ます。
更に、弊社独自の高効率、小流量N2パージ機能が搭載されています。 N2の使用量が従来装置と比べてはるかに少なく、しかも確実な置換効果が得られます。
これらの特長は、低消費電力化、微量なガス消費など、装置のランニングコストの低減に大きく貢献するばかりでなく、装置コストの削減、高価なクリーンルームの設置スペースの減少など、総合的な製造プロセスの効率化が図れます。
（上記2件特許申請済）

200mm/8”対応
モデル　UVC-408
サイズ: 400（W）×665（D）×435（H）

300mm/12”対応
モデル　UVC-512
サイズ: 650（W）×800（D）×980（H）

ブラックライト仕様

本装置はブラックライトを硬化用光源にした少量生産やR&D用途に適した200mm／8インチウェーハー対応の廉価版モデルです。
光源が高密度でレイアウトされているため、バラツキのない均一な硬化が得られます。
装置は照射タイマー、酸素の弊害から硬化性能を損なわないようN2パージ機能、安全装置などを搭載した高圧水銀モデル並の機能を備えています。

LED光源仕様

本従来装置（高圧水銀灯やメタルハライド光源）と比較して照度不足と思われがちですが、硬化性能（硬化状態、硬化スピード）に差異はありません。
また、装置価格も従来装置と同レベルまで価格低減を図りました。
その他、本装置は下側照射や上側照射をはじめ、カスタム仕様の対応、装置組み込み用途などのモジュール化にも対応いたします。

■ 年間ランニングコスト比

	LED光源装置	従来装置
光源交換費用	0	400,000～500,000
電気料金	68,800	495,400
合計年間コスト	68,800	895,400～995,400

■ 特徴

	■	常温／室温照射。
	■	瞬時の光源立ち上がり。
	■	照度バラツキを解消。
	■	波長365nmを採用、全てのUVテープ対応。
	■	少流量オートN2パージ機能内蔵。
	■	100V電源でOK.
	■	小型、軽量、テーブルトップタイプ。
	■	*メンテナンスフリー、光源交換は10年以上不要。1**
	■	*ECO装置、電力消費は従来装置の1/9以下。2**
	■	200mm、300mm対応2機種を用意。
	■	地球温暖化防止に貢献年間CO2削減量13.5トン、森林換算1975本に相当。*3
	1) 運転時間　：8H×2シフト → 16H/day × 365日 2) 電気料金　：東京電力従量電灯C参照 *3) 地球環境　：環境省報道および林野庁HP参照

◆製品ラインナップ

UV照射装置（LED光源仕様）

高圧水銀灯をしのぐ高出力
LED光源搭載のUV照射装置

UV硬化樹脂用 LED光源 UV照射装置をカスタム仕様で開発します。
テクノビジョンは高出力LEDドライバーの開発により高圧水銀灯を凌ぐ250mmW/cm2 365nm at 10mm work distance の面照射出力を達成しております。
この高出力と数ある特長を生かした光源技術で、UV硬化樹脂の開発のお手伝いをさせていただきたいと願っております。

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