製品詳細
株式会社テクノビジョン
ウェハーエキスパンダー／ウェハー拡張装置
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ダイシング後のチップ間隔を任意の幅に拡張
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ダイシング／分割後のチップハンドリングが著しく向上します。
ダイシング／分割されたウェーハーをX-Y方向に均一に拡張し、チップ間隔を任意のギャップに広げます。
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フルカットされたウェハーをダイシングテープごと拡張ステージで引き伸ばし、チップ間隔／ストリート幅を適切な幅に均一に広げます。
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拡張率を任意に設定可能。 |
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拡張スピードを任意に設定可能。 |
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高拡張率を可能とするホットプレート搭載ステージ。 |
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グリップリングで拡張されたフィルムを自動グリップ。 |
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拡張されたウェーハー |
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高圧水銀灯をしのぐ高出力
LED光源搭載のUV照射装置 |
UV硬化樹脂用 LED光源 UV照射装置をカスタム仕様で開発します。
テクノビジョンは高出力LEDドライバーの開発により高圧水銀灯を凌ぐ250mmW/cm2 365nm at 10mm work distance の面照射出力を達成しております。
この高出力と数ある特長を生かした光源技術で、UV硬化樹脂の開発のお手伝いをさせていただきたいと願っております。 |
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| UVフィルム硬化装置／UV照射装置 |
UV硬化型ダイシングフィルム用の
UV照射装置 |
●業界随一の小型、軽量、小フットプリント装置
●200m／8インチウェーハー対応の廉価版モデル
●ダイシング工程・BG／バックグラインド用途 |
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| グリップリング |
インナーリング、アウターリングの
ダブルリング構造 |
フィルム、シートをピンと貼ったままの状態でグリップする二重リング構造。
強化プラスチック製のグリップリング。
伸縮性のあるフィルムや布、紙類をインナーとアウターではさみ込みピンと張りつめた状態をキープできるダブルリング（二重リング）。
用済みになれば簡単に取り外す事ができ、くり返しの使用が可能。 |
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