製品詳細

株式会社テクノビジョン

テープ貼付装置 ウェーハーマウンター/フィルムマウンター

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『気泡なしで瞬時に貼付け!』

ウェハーマウンター/テープマウンターは、『ウェハー』『ダイシングフレーム』『各種テープ』を気泡なしで 瞬時に貼り付けるフィルム貼り付け装置です。

研究開発を始めセミプロダクション用途まで、目的に合わせ幅広く装置の選択ができます。

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株式会社テクノビジョン

【所在地】〒350-0165埼玉県比企郡川島町中山2078

【電話番号】049-299-1385 【FAX番号】049-299-1386

【URL】http://www.techvision.co.jp/

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◆用途
【ダイシング用途】【DAF(ダイアタッチフィルム)用途】【保護(バックグラインド)用途】等、広範な用途に対応。

◆テープ
ロール状のカットされていないノーマルテープおよびプリカットテープ両方に対応した兼用装置、 ノーマルテープ専用、プリカットテープ専用の装置を提供

◆ウェハーサイズ
12インチ(300mm)、8インチ(200mm)、6インチ(150mm)等、対応するウェハーサイズにより
モデルが異なります。

◆装置バリエーション
FM-224シリーズ(マニュアル装置)
FM-334シリーズ(セミオート装置:小型テーブルトップ)
FM-664シリーズ(セミオート装置:プリカット/ノーマルテープ兼用)
FM-903シリーズ(セミオート装置:ノーマルテープ専用8インチモデル)

※評価用テスト、好評受付中です。
詳細はお気軽に、お問合せ下さい。

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◆製品ラインナップ
ウェハーエキスパンダー/ウェハー拡張装置
チップ間隔を任意の幅に拡張
ダイシング/分割後のチップハンドリングが著しく向上。
ダイシング/分割されたウェーハーをX-Y方向に均一に拡張し、チップ間隔を任意のギャップに広げる。
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UV照射装置(LED光源仕様)
動画公開中
高圧水銀灯をしのぐ高出力
LED光源搭載のUV照射装置
UV硬化樹脂用 LED光源 UV照射装置をカスタム仕様で開発します。
テクノビジョンは高出力LEDドライバーの開発により高圧水銀灯を凌ぐ250mmW/cm2 365nm at 10mm work distance の面照射出力を達成しております。
この高出力と数ある特長を生かした光源技術で、UV硬化樹脂の開発のお手伝いをさせていただきたいと願っております。
>詳細はこちら
UVフィルム硬化装置/UV照射装置
UV硬化型ダイシングフィルム用の
UV照射装置
●業界随一の小型、軽量、小フットプリント装置
●200m/8インチウェーハー対応の廉価版モデル
●ダイシング工程・BG/バックグラインド用途

〈高圧水銀ランプ仕様〉
〈ブラックライト仕様〉
〈LED光源仕様〉
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LED光源仕様 全自動UV硬化装置 UVC-200A
業界初! 高圧水銀灯以上の性能発揮に成功いたしました
●全自動…カセットto カセットで、処理します。
●常温照射…放射熱によるワークへのストレスがありません。
●長寿命…寿命の長さでランニングコスト低減に役立ちます。
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グリップリング
インナーリング、アウターリングの
ダブルリング構造
フィルム、シートをピンと貼ったままの状態でグリップする二重リング構造。
強化プラスチック製のグリップリング。
伸縮性のあるフィルムや布、紙類をインナーとアウターではさみ込みピンと張りつめた状態をキープできるダブルリング(二重リング)。
用済みになれば簡単に取り外す事ができ、くり返しの使用が可能。
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【洗浄装置関連】

汎用洗浄装置 卓上タイプ TWC-200
カセット洗浄装置
フォトマスク洗浄装置
マスク洗浄装置 TWC-300
全自動フォトマスク洗浄装置 TWC-200A
UVオゾン洗浄装置
スーパークリーンヒーター