本装置は、φ150mm（6") ・φ200mm（8"）対応の SiCウェーハ枚葉式洗浄装置です。 ウェーハは、25枚入カセットでLD側に作業者がセットします。 洗浄後のウェーハは、ULD側にセットされたクリーンなカセットに収納されます。 プロセス：LD（水中）→ 両面ブラシスクラブ → 両面ブラシスクラブ → 超音波シャワー洗浄 → スピン乾燥 → ULD（空中）となります。 【処理物】 1. SiCウェーハφ150mm・φ200mm　ノッチ・オリフラ 　 直径：φ150mm±0.2mm・φ200mm±0.2mm 　 厚さ：385～600μm 　 反り：40μm以下 　 接触可能範囲エッジ部及び外周から2mmの範囲 2. カセット 　 LD側カセット：SEMI規格品→PFAキャキア（25枚入） 　 ULD側カセット：SEMI規格品→PPキャキア（25枚入） 　 φ150mm（6"）ウェーハ収納ピッチ：4.7625mm 　 φ200mm（8"）ウェーハ収納ピッチ：6.35mm 【スループット】 タクトタイム：60秒/1枚【φ150mm（6"）】 タクトタイム：45秒/1枚【φ200mm（8"）】

ワイヤーソー (スライス) 後のウェーハ自動剥離装置（剥離洗浄機）です。プレート治具に接着されたインゴットを投入側にセットすることで、粗洗浄～ウェーハ剥離～ウェーハ枚葉洗浄～乾燥～カセット収納までを全自動で行うシステムです。剥離後のプレート治具は、アンローダ側に排出されます。 剥離は、熱風加熱方式で、1枚ごとに行います。剥離後のウェーハは、枚葉式の洗浄です。2流体高圧洗浄～スクラブ洗浄～リンス洗浄～吸水ローラ乾燥～スリットノズル乾燥後、水平多関節ロボットでアンローダ部のカセットに1枚毎に収納します。収納は、カセット (25枚入) の上段～又は下段からの選択ができます。収納カセットは、最大6個です。OHT搬送に対応しております。

クリーンルームで使用する水平多関節型のロボットです。 前後 (X軸) ・旋回 (θ軸) ・上下 (Z軸) +ハンド回転 (0～180°) の動作が可能でウエハの大気中搬送に対応致します。 駆動モータは、ACサーボモータで全軸アブソリュートエンコーダ仕様です。

本装置は、石英ガラスウェーハを、ステージ①～ステージ②のキャリア間で自動的に枚葉で移載を行うシステムです。 使用するカセットは、ＦＯＵＰ・ＦＯＳＢキャリアです。 基本的にキャリアは、作業者がステージにセットします。

半導体洗浄装置は、半導体製造工場の各種工程で使用されます。シリコンウェハ上に半導体素子を形成する前工程でも素子を切り離し、パッケージ化して最終製品を製造する後工程でも使われます。 特に前工程では、ウェハ表面の汚染物質や付着物が半導体の品質や歩留まりに与える影響が非常に大きいです。そのため、ウェハ上に酸化膜・薄膜を形成する工程の前、成膜工程の後、エッチング工程の後など、非常に多くの段階で半導体洗浄装置が使われています。

EFEM (Equipment Front End Module) FFU（Fan Filter Unit）を備えたフレーム内に大気搬送ウェーハロボットを設置し、前面にロードポートを取り付けたモジュール機器。 プロセス装置の前面に設置される。

本装置は、所定のカセットに収納された200㎜・300㎜用ダイシングフレームを標準カセットに入れ替えるシステムです。 使用するカセットは、6枚入カセット・13枚入カセットです。各カセットは作業者がステージに供給します。

次世代のシリコンウェーハは、直径が従来の300mmから450mmと1.5倍に大型化され、130gほどであった自重が450g～700gと非常に重くなり、タワミも生ずる。このため、従来の搬送ロボットでは正確なハンドリングが出来ないという課題が生じていた。本装置は、この課題を解決し、大型シリコンウェーハの高速・高精度な搬送を可能とするものである。

●プラスチックケースとしては画期的な小ささ！手の中にすっぽり納まる小型サイズです。 ●携帯タイプの 電子機器用プラスチックケースです。 ●手にフィットする機能的な形状でモダンなデザインです。 ●豊富なカラーバリエーションから選択できます。（本体3色、中間フレーム7色） ●ABSと赤外線を透過するPMMAの2種から選択できます。 ●別売のアクセサリーとして各種ストラップ、リストベルトを用意しています。 ●主な用途は、リモートコントローラー、警報装置、モニタリング装置など。 ●サイズ:幅33.5～62.2mm 高さ13.3～20.7mm 奥行53.5～98.2mm ●機種数：176 ●材質：ABS/PMMA（UL94HB適合）

●洗練されたデザインと機能性を融合した、美麗で堅牢な電子機器用アルミニウム製ケースです。 ●高品質で美麗なマットアルマイト仕上げです。 ●シーリングを組み込んでいるので、IP54の防塵防滴構造となっています。 ●ケース各部の平面部分はインターフェースの設置が容易です。 ●内部はPCB取付用の水平ガイドとネジ溝を設け、タッチスクリーン／ディスプレイモジュール／PCBなどの大容量電子アセンブリに十分な収納スペースを用意しています。 ●PCB取付用のM3四角ナット（4個）が付属しています。 ●高い難燃性とUV保護効果を持つASA+PC-FRのサイドカバーは、ケーブルとコネクタを保護するための窪みを設けています。 ●汎用性のあるデザインは、卓上／壁掛／携帯等さまざまな用途に適応します。 ●使用用途は、パソコンの周辺機器およびインターフェース機器、計測･操作機器、監視･記録機器、バイオメトリクス、医療機器用ケースなどです。

【設計業務】 　産業機械、プラント設備： 　　計画図/組立図/詳細図/スプール図 　　構造計算、現場調査、３次元測量 【図面データ化】 　　手書き図面を２Ｄ、３ＤデータにＣＡＤ化。 　　大量図面も対応可能。 【使用ソフト一覧】 　　２次元ＣＡＤ：CADSUPER、AUTOCAD 　　３次元ＣＡＤ：ICAD_SX 　　構造計算：midas　　他 【お問い合わせ】 URL：https://www.masaki.co.jp/ TEL：0439-54-6500 設計事業Gr営業課：佐藤

デスクトップ　排気ファン内臓ﾀｲﾌﾟ 卓上型UV照射装置のオゾン排気ガスを分解します。 非金属系触媒による高濃度オゾンガス分解 AC100-240V 排気ファン内臓 長寿命設計　触媒寿命　1年

省スペース卓上最適 高速処理時間 AC１００V電源のみ 処理時間設定タイマー装備 扉インターロック装備 ｵｿﾞﾝ除害処理ﾕﾆｯﾄ装備 ワーク均一照射処理機構装備 省スペース卓上最適 水銀ランプ不使用

・190℃まで昇温可能な高純度石英バス。 ・300mmウェーハまでの標準サイズに対応。 ・特注品即対応。

・最高温度100℃ ・接液部：石英およびＰＦＡ ・昇温が速いためインラインに最適 ・熱効率98％を達成

・薬液温度：最高300℃ ・接液部：全て石英 ・排液用石英製アスピレター装備 ・リカバリータンクおよびエマージェンシータンク装備

設計支援から完成品まで一貫生産　社内加工の技術・設備内容：設計支援/金型製作/エッチング/プレス/端面処理（バレル及びシェービング処理）/スポット溶接/熱処理　・他、メッキ処理や熱圧着（拡散接合）等も承ります。

商品名：イオンエアーダスター　CA-1／CA-2 入力電源はDC24V（100V用のACアダプター付き）。 使用エアー圧力：0.05～0.6MPa。 供給エアー流量（0.4MPa時） 　CA-1：50NL　　CA-2：136NL イオンバランス 　CA-1：±20V以内　　CA-2：±15V以内 最新情報は下記の第二ホームページをご覧ください。 http://www007.upp.so-net.ne.jp/iac

商品名：イオンダスター　CA-30 ノズル径：Φ1.2 使用エアー圧力：0.2～0.45MPa 質量：220g（乾電池使用時330g） 付属品：中空糸ラインフィルター（2本）、コイルチューブ、専用ACアダプター 最新情報は下記の第二ホームページをご覧ください。 http://www007.upp.so-net.ne.jp/iac

IC-2-Setのセット内容 ハンディーコンプレッサー イオンダスターガン コイルホース 専用ACアダプター 中空糸ラインフィルター標準付属（2本1セット） 購入後すぐに使用できます。 最新情報は下記の第二ホームページをご覧ください。 http://www007.upp.so-net.ne.jp/iac