水質汚濁防止法の排水基準値をクリアー。油分濃度を5ppm以下に処理。　センサーとタイマーでドレンを確実に排出

水質汚濁防止法の排水基準値をクリアー。油分濃度を5ppm以下に処理。　センサーとタイマーでドレンを確実に排出

USG、PSG、BPSG等の層間絶縁膜及びシリコン基板の裏面コートを形成する連続式常圧CVD装置です。　過去400台余りの実績を持つAECシリーズの高スループット及び、AMAXシリーズの高品位と高メンテナンス等の長所を取り入れました。　高性能を維持し、高スループット、高メンテナンス性。　省スペース、デバイス製造コスト低減　φ75mm～φ150mmウェハまで対応できる柔軟性。

プロキシミティ露光実験に最適

水道管・給水管に取り付けることにより、水の粒子（クラスター）を細かくし水分子活動を活発にさせると同時に、水に酸素を補給しイオン濃度を高め、イオン活性水＝「磁化水」に変化させる事ができます。「磁化水」は、戸建・ビル・マンション・工場等の配管にて発生している赤サビ・スケールの除去・再発防止作用や排水の浄化作用に抜群の力を発揮します。また、熱伝導率が向上するためボイラー等の燃費を節約し、飲料水もおいしくなります・・・。その他用途は無限大です。家庭から業務用まで10機種取り揃えており、特注品にも応じます。お気軽に

最大-200℃以下まで冷却可能　真空排気ポンプに併用することで、排気速度を効果的に向上。　残留ガスの水分圧を短時間に激減。　冷凍機部は、メンテナンスフリー・振動フリー・ノンフロン。　冷媒にヘリウムガスを使用。　様々な溶剤もトラップできます。　冷凍機としてもご使用になれます。　高真空排気に優れた効果を発揮！　世界初開発クライオコイル型パルスチューブ冷凍機搭載

NEWコアレス型は、コイルのプレス技術と樹脂充填技術により省エネ、小型、ローコストを実現　Hybrid型は、新構造によりコアレスでも大きな推力が得られます　hybrid型は、低推力リップル、ロバスト性が優れ、ナノ制御に対応　半導体製造装置、液晶製造装置、ステッパ、超精密加工機、ナノバイオに適用　高機能・高性能なサーボコントローラシステムを搭載可能

水質汚濁防止法の排水基準値をクリアー。油分濃度を5ppm以下に処理。　センサーとタイマーでドレンを確実に排出

イオン性物質の分離・精製に役立つ・・・　樹脂と比べて　長繊維状だから・・・・・・モジュール化が容易　・・・・・・装置化が簡単　反応速度が速いから・・・・・・効率的に処理が可能　・・・・・・再生も容易　具体的には　水中（空気中）から有害なイオン性物質を除去。　不織布、布、カット糸状等でお使いいただけます。

NEWコアレス型は、コイルのプレス技術と樹脂充填技術により省エネ、小型、ローコストを実現　Hybrid型は、新構造によりコアレスでも大きな推力が得られます　hybrid型は、低推力リップル、ロバスト性が優れ、ナノ制御に対応　半導体製造装置、液晶製造装置、ステッパ、超精密加工機、ナノバイオに適用　高機能・高性能なサーボコントローラシステムを搭載可能

プロキシミティ露光実験に最適

最大-200℃以下まで冷却可能　真空排気ポンプに併用することで、排気速度を効果的に向上。　残留ガスの水分圧を短時間に激減。　冷凍機部は、メンテナンスフリー・振動フリー・ノンフロン。　冷媒にヘリウムガスを使用。　様々な溶剤もトラップできます。　冷凍機としてもご使用になれます。　高真空排気に優れた効果を発揮！　世界初開発クライオコイル型パルスチューブ冷凍機搭載

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最大-200℃以下まで冷却可能　真空排気ポンプに併用することで、排気速度を効果的に向上。　残留ガスの水分圧を短時間に激減。　冷凍機部は、メンテナンスフリー・振動フリー・ノンフロン。　冷媒にヘリウムガスを使用。　様々な溶剤もトラップできます。　冷凍機としてもご使用になれます。　高真空排気に優れた効果を発揮！　世界初開発クライオコイル型パルスチューブ冷凍機搭載

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水質汚濁防止法の排水基準値をクリアー。油分濃度を5ppm以下に処理。　センサーとタイマーでドレンを確実に排出

イオン性物質の分離・精製に役立つ・・・　樹脂と比べて　長繊維状だから・・・・・・モジュール化が容易　・・・・・・装置化が簡単　反応速度が速いから・・・・・・効率的に処理が可能　・・・・・・再生も容易　具体的には　水中（空気中）から有害なイオン性物質を除去。　不織布、布、カット糸状等でお使いいただけます。

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水質汚濁防止法の排水基準値をクリアー。油分濃度を5ppm以下に処理。　センサーとタイマーでドレンを確実に排出