プリズム

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エア・ウォーター（株）

大型真空チャンバ向け大排気容量コールド・トラップ

ポンプ 超微細加工装置 コイル/トランス フラットパネルディスプレイ用装置 プロセス装置 一般装置 薬品/固体 プロセス材料 構成要素/部品 その他 チューブ 真空機器 電子/半導体材料 その他素材/材料

COLD TRAP

最大-200℃以下まで冷却可能　真空排気ポンプに併用することで、排気速度を効果的に向上。　残留ガスの水分圧を短時間に激減。　冷凍機部は、メンテナンスフリー・振動フリー・ノンフロン。　冷媒にヘリウムガスを使用。　様々な溶剤もトラップできます。　冷凍機としてもご使用になれます。　高真空排気に優れた効果を発揮！　世界初開発クライオコイル型パルスチューブ冷凍機搭載

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エア・ウォーター（株）

【所在地】〒592-8331大阪府堺市築港新町２－６－４０

【電話番号】072-244-8807 【FAX番号】072-244-8414