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製品詳細
エア・ウォーター(株)
大型真空チャンバ向け大排気容量コールド・トラップ
ポンプ 超微細加工装置 コイル/トランス フラットパネルディスプレイ用装置 プロセス装置 一般装置 薬品/固体 プロセス材料 構成要素/部品 その他 チューブ 真空機器 電子/半導体材料 その他素材/材料COLD TRAP
最大-200℃以下まで冷却可能 真空排気ポンプに併用することで、排気速度を効果的に向上。 残留ガスの水分圧を短時間に激減。 冷凍機部は、メンテナンスフリー・振動フリー・ノンフロン。 冷媒にヘリウムガスを使用。 様々な溶剤もトラップできます。 冷凍機としてもご使用になれます。 高真空排気に優れた効果を発揮! 世界初開発クライオコイル型パルスチューブ冷凍機搭載
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【所在地】〒592-8331大阪府堺市築港新町2-6-40
【電話番号】072-244-8807 【FAX番号】072-244-8414
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