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製品詳細
株式会社ヒロテック
サファイア基板ウェットエッチング用石英バス 高温タイプ「Xe-Series」
プロセス装置 ウェーハ基板 製造設備/コントロールシステムLEDサファイア基板向けウェットエッチ
最高300℃
・薬液温度:最高300℃
・接液部:全て石英
・排液用石英製アスピレター装備
・リカバリータンクおよびエマージェンシータンク装備
- 株式会社ヒロテック
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【所在地】〒103-0023東京都中央区日本橋本町1-1-3立石本町ビル6階
【電話番号】03-5200-2201 【FAX番号】03-5200-2212
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