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製品詳細

（株）日本レーザー

Newport社直進ステージ

高耐荷重性、高速＆大加速度
充実のラインナップ

【所在地】〒169-0051東京都新宿区西早稲田２－１４－１

【電話番号】03-5285-0861 【FAX番号】03-5285-0860

製品選定でお悩みの際は、日本レーザーまでご連絡ください。　03-5285-0861

	直接駆動超精密ステージからピエゾモータ直進ステージまで、 200モデル以上を展開
	XY, XYZステージも構成可 nm分解能の精密位置決め真空対応可特注, OEM可ロングトラベル/高速/小型＆軽量など、要件に合わせて多彩なラインナップから選択

◆概要

	Newport社とNew Focus社の電動直進ステージは、50年以上にわたって研究・大学機関、工業、半導体産業、航空宇宙産業、防衛産業などのさまざまな市場にソリューションを供給し続けてきた経験を背景として、設計・強化されてきました。
	直接駆動超精密ステージからピエゾモータ直進ステージに至るまで200種類以上のラインナップ手動ステージに広範囲の選択肢を持つ互換性のある電動アクチュエータを適合させることにより、数多くのリニア位置決めソリューションを作成可能

◆活用事例

レーザー加工（アブレーション、ドリリング、スクライビング、ウェルディング、etc）

◆主な仕様

詳しくは製品ページをご覧ください。（日本レーザーWEBサイトに移動します）

IDLシリーズ　レーザー加工用ロングトラベル・リニアステージ

IDLシリーズは、移動量が大きい産業グレードリニアステージです。耐荷重が大きく、高速。使用環境や用途に合わせて選べる種々のサイズをご用意しています。

◆日本レーザーの製品ラインナップ

Newport社電動ステージ

1000度/秒の高速回転。大口径＆大荷重
精密ガラススケールエンコーダによる高い再現性、最小移動量、高い精度など

直接駆動の直読式高速回転型から、多用途・低価格タイプまで、100モデル以上を展開

滑らかで精密な垂直移動、高感度、優れた再現性

高耐荷重・ロングトラベルタイプから高精度タイプまで幅広い精密垂直ステージをラインナップ

優れた位置決め分解能、軸対荷重、長期の位置決め安定性

ナノメートル分解能の圧電素子モータベース・直進ステージ

多軸自由度のステージをコンパクトに構成可能
軌跡コントロール。ソフトウェア上で2つの仮想回転中心を設定可能

独立6軸（X、Y、Z、ピッチ、ロール、ヨー）動作。
複雑なモーションコントロールに高い耐荷重と精度を提供。

【パターン・ジェネレータ】（レーザー描画装置・レーザー加工装置）
	高速/高精細レーザー直接描画装置“VPG200/400” 【生産用途】マスクレス・リソグラフィ装置フラッグシップ・モデル“DWL2000/4000” 【生産・開発用途】 R&D用マスクレス・リソグラフィ装置最上位モデル“DWL66+” 【研究・開発用途】卓上型マスクレス・リソグラフィ装置“μPG501/μPG101” 【研究・開発用途】
【パルスレーザー】
	パルスファイバーレーザーredENERGY G4 高繰返しLD励起パルス固体レーザー（IMPACTシリーズ）
【インプリント】
	UV式mini ナノインプリント装置 EUN-4200 熱式miniインプリント装置 EHN-3250
【粒度分布計測】
	レーザー回折式　粒度分布測定（乾式・湿式） HELOS&RODOS