2011年5月19日マサチューセッツ州ビレリカ発 ：米国インテグリス社は本日、450 mm 半導体ウェーハのハンドリング製品と極端紫外線（EUV）レチクルポッドを生産するための先端技術製造施設を、コロラド州コロラドスプリングスに開設する計画を発表した。この新施設では、半導体産業における300 mm ウェーハから 450mm ウェーハへの移行に合わせて、ウェーハハンドリング製品を開発、製造する。計画中の施設は、40,000 平方フィートの敷地を有し、年内の操業開始を目指している。これにより、コロラドスプリングスにおけるインテグリスの製造設備がさらに拡張されることになる。

プライムロック継手は、クリーンで堅固、そして組み立てが容易なPFAチューブ継手です。
作動音と視覚的なサインにより、適切な接続状態を迅速に確認できます。また、組み立て時の加熱処理が不要ですので、作業時間とコストが抑えられます。
接続チューブサイズは 1/4" から 1" までご用意しています。

【クリーンで確実なウェーハ搬送】
◎超高純度のポリカーボネート製ハウジングは、寸法安定性が高く、パーティクルおよびアウトガスの発生を低く抑えます。
◎ガスケットによる密閉とフィルター内臓により、外部からのパーティクル汚染を抑えます。
◎ドア内部には特殊な形状のクッションが加工されており、ウェーハの回転を最小限に抑えます。
◎成型加工されたウェーハ接触面は、寸法精度が高くパーティクルの発生を抑えます。
◎人間工学に基づいて設計および配置されたハンドルは、作業者による適切な取り扱いを実現します。

【最適化された自動化インターフェース】
◎FIMS対応（SEMI E62準拠）、低トルク開閉ドア
◎10mmフルピッチ、高精度ウェーハ接触水平面
◎高剛性ロボットフランジ、コンベア用レール、キネマティックカップリング

一般的な焼結法によるSiC とは異なり、焼結材（バ
インダー）や金属汚染の原因となる金型などを一切
使用せず、高純度のグラファイトから当社独自技術
の気相コンバージョン法によって直接SiC を生成し
ています。

【主な仕様】
材質：高純度シリコンカーバイト
ウェーハ径：100, 125, 150, 200, 300 mm
ウェーハ形状：フルラウンド、オリフラ、ノッチ
最高使用温度：1600 °C

耐薬品性に優れたオールフッ素樹脂性の構成部材ですので、強酸または強アルカリ性の薬品を使用する環境でも安心して使用できます。
またバクテリア防止のための過水洗浄、温水洗浄も可能です。

【主な仕様】
ガン本体：高純度PFA
構成部品：PFA、PTFE、ETFE
接続： 1/4” または1/2” NPTメス
最高使用圧力： 552 kPa

インテグリスの フロロピュア三層HDPEドラムは、ELグレードの高純度薬品の保護・搬送において、安全性と清浄性を保ちます。

◎ ドラム内面の接液部には、高純度の HDPE（高密度ポリエチレン）を使用
◎ 金属およびパーティクルの清浄性に優れています
◎ UN（危険物の国際間輸送に関する国連勧告）の認可
◎ DOT（米国運輸省規制）のGroup II/III薬品用容器に準拠
◎ 薬品の残余を最小限に抑える独自のサンプデザイン
◎ 一体成形のチャイムによる製品強度の向上とプラグ保護
◎ 容量：200L
◎ クイックコネクトシステム対応
◎ クラス 1000 のクリーンルームで組立・検査

専用の高性能フィルターを装着することにより、高清浄なエアの吹きつけを実現するエアガンです。

インテグラバルブは、PTFEまたはPFAの接液部で構成された、耐薬品性に優れたダイアフラムバルブです。
外装部には金属部品を全く使用していませんので、過酷な環境でも安心してご使用いただけます。
1/4" ～ 1" のオリフィスサイズ、各種のポートデザインなど、幅広いラインアップをご用意しています。