300mmウェーハの高度な保護と最適な自動化インターフェース

【クリーンで確実なウェーハ搬送】
◎超高純度のポリカーボネート製ハウジングは、寸法安定性が高く、パーティクルおよびアウトガスの発生を低く抑えます。
◎ガスケットによる密閉とフィルター内臓により、外部からのパーティクル汚染を抑えます。
◎ドア内部には特殊な形状のクッションが加工されており、ウェーハの回転を最小限に抑えます。
◎成型加工されたウェーハ接触面は、寸法精度が高くパーティクルの発生を抑えます。
◎人間工学に基づいて設計および配置されたハンドルは、作業者による適切な取り扱いを実現します。

【最適化された自動化インターフェース】
◎FIMS対応（SEMI E62準拠）、低トルク開閉ドア
◎10mmフルピッチ、高精度ウェーハ接触水平面
◎高剛性ロボットフランジ、コンベア用レール、キネマティックカップリング