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「伯東(株) 登録製品一覧」
伯東(株) 登録製品一覧
- 対象件数4件
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連続式常圧CVD装置 A6300
USG、PSG、BPSG等の層間絶縁膜及びシリコン基板の裏面コートを形成する連続式常圧CVD装置です。 過去400台余りの実績を持つAECシリーズの高スループット及び、AMAXシリーズの高品位と高メンテナンス等の長所を取り入れました。 高性能を維持し、高スループット、高メンテナンス性。 省スペース、デバイス製造コスト低減 φ75mm~φ150mmウェハまで対応できる柔軟性。
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連続式常圧CVD装置 A6300
USG、PSG、BPSG等の層間絶縁膜及びシリコン基板の裏面コートを形成する連続式常圧CVD装置です。 過去400台余りの実績を持つAECシリーズの高スループット及び、AMAXシリーズの高品位と高メンテナンス等の長所を取り入れました。 高性能を維持し、高スループット、高メンテナンス性。 省スペース、デバイス製造コスト低減 φ75mm~φ150mmウェハまで対応できる柔軟性。
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連続式常圧CVD装置 A6300
USG、PSG、BPSG等の層間絶縁膜及びシリコン基板の裏面コートを形成する連続式常圧CVD装置です。 過去400台余りの実績を持つAECシリーズの高スループット及び、AMAXシリーズの高品位と高メンテナンス等の長所を取り入れました。 高性能を維持し、高スループット、高メンテナンス性。 省スペース、デバイス製造コスト低減 φ75mm~φ150mmウェハまで対応できる柔軟性。
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連続式常圧CVD装置 A6300
USG、PSG、BPSG等の層間絶縁膜及びシリコン基板の裏面コートを形成する連続式常圧CVD装置です。 過去400台余りの実績を持つAECシリーズの高スループット及び、AMAXシリーズの高品位と高メンテナンス等の長所を取り入れました。 高性能を維持し、高スループット、高メンテナンス性。 省スペース、デバイス製造コスト低減 φ75mm~φ150mmウェハまで対応できる柔軟性。