A6300

USG、PSG、BPSG等の層間絶縁膜及びシリコン基板の裏面コートを形成する連続式常圧CVD装置です。　過去400台余りの実績を持つAECシリーズの高スループット及び、AMAXシリーズの高品位と高メンテナンス等の長所を取り入れました。　高性能を維持し、高スループット、高メンテナンス性。　省スペース、デバイス製造コスト低減　φ75mm～φ150mmウェハまで対応できる柔軟性。