性能とサイズの両方を兼ね揃えた減圧弁　小型減圧弁並のサイズでありながら精密減圧弁の圧力特性を持つバランスの良い減圧弁です。　　プッシュロック式ノブ　圧力設定はプッシュロック式ノブの為、手軽に設定圧力の固定が可能です。　　様々な取付けに対応可能　パネルマウントでの取付けの他、ブラケットによる壁面への取付けも可能です。

性能とサイズの両方を兼ね揃えた減圧弁　小型減圧弁並のサイズでありながら精密減圧弁の圧力特性を持つバランスの良い減圧弁です。　　プッシュロック式ノブ　圧力設定はプッシュロック式ノブの為、手軽に設定圧力の固定が可能です。　　様々な取付けに対応可能　パネルマウントでの取付けの他、ブラケットによる壁面への取付けも可能です。

性能とサイズの両方を兼ね揃えた減圧弁　小型減圧弁並のサイズでありながら精密減圧弁の圧力特性を持つバランスの良い減圧弁です。　　プッシュロック式ノブ　圧力設定はプッシュロック式ノブの為、手軽に設定圧力の固定が可能です。　　様々な取付けに対応可能　パネルマウントでの取付けの他、ブラケットによる壁面への取付けも可能です。

精密な荷重調整（±0.01N）が可能です！！　　高精度な荷重制御：エアーシリンダーには特殊複動型低摺動シリンダ（LC型）を用いています。シール部材としてOリングを使わ、BFダイヤフラムを採用していますので、摺動抵抗が小さく高精度な荷重制御を実現します。　省スペースタイプ：外形サイズ全長102×幅63×高さ96.3mmと小型・軽量な省スペースタイプを用意しています。　省エネタイプ：消費流量4L/minのモータ駆動式レギュレータ（RS・M/S）を用いた省エネタイプを用意しています。　0.1Nのソフトタッチを実

エアーベッド・床ズレ防止マット・マッサージ器・医療機器・その他、各種工業関係に。　　小型：40L/minタイプで外形サイズ全長107mm×幅149mm×高さ89mmとコンパクトサイズ。　軽量：外形部総樹脂のため総重量1.3kgと軽量化を実現。　高安定性：製品の固体差がなく、安定した性能が得られます。

エアーベッド・床ズレ防止マット・マッサージ器・医療機器・その他、各種工業関係に。　　小型：40L/minタイプで外形サイズ全長107mm×幅149mm×高さ89mmとコンパクトサイズ。　軽量：外形部総樹脂のため総重量1.3kgと軽量化を実現。　高安定性：製品の固体差がなく、安定した性能が得られます。

精密な荷重調整（±0.01N）が可能です！！　　高精度な荷重制御：エアーシリンダーには特殊複動型低摺動シリンダ（LC型）を用いています。シール部材としてOリングを使わ、BFダイヤフラムを採用していますので、摺動抵抗が小さく高精度な荷重制御を実現します。　省スペースタイプ：外形サイズ全長102×幅63×高さ96.3mmと小型・軽量な省スペースタイプを用意しています。　省エネタイプ：消費流量4L/minのモータ駆動式レギュレータ（RS・M/S）を用いた省エネタイプを用意しています。　0.1Nのソフトタッチを実

優れた応答性：レスポンスの良い薄膜ベローズと大流量制御アクチュエータにより、装置上で大きい荷重の移動ステージが動いた場合にも、ストローク変動を小さく抑えることが可能です。　薄型形状：薄型ベローズ方式を採用しているため、薄型の除振装置が可能であり、搭載する装置の低重心化に大きく貢献します。　アクティブ仕様と鉛直方向（Z方向）位置制御仕様の選択：アクティブ仕様でハイスペックな除振装置の他に、鉛直方式（Z方向）位置制御のみできる低コスト仕様をラインナップ　　FVシリーズは全方向フルアクティブ制御が可能なアクティ

小型・軽量　当社製品RVと比較して高さ方向を1/3（幅口49mm、高さ63mm）、重量は半分（約300g）程度となり、RVシリーズの中で最も小型となっています。　　優れた圧力特性　小型であってもRVと同等の優れた圧力特性を示します。　　省スペースでの取付けに対応　ブラケットでの取付けやパネルマウントでの取付けの両方に対応しているため、省スペースでの取付けが可能です。　　漏れが極めて少ない　直動式のためブリードさせることなく圧力調整が出来ますので、漏れが少なくエネルギーロスを抑えられます。

小型・軽量　当社製品RVと比較して高さ方向を1/3（幅口49mm、高さ63mm）、重量は半分（約300g）程度となり、RVシリーズの中で最も小型となっています。　　優れた圧力特性　小型であってもRVと同等の優れた圧力特性を示します。　　省スペースでの取付けに対応　ブラケットでの取付けやパネルマウントでの取付けの両方に対応しているため、省スペースでの取付けが可能です。　　漏れが極めて少ない　直動式のためブリードさせることなく圧力調整が出来ますので、漏れが少なくエネルギーロスを抑えられます。

小型・軽量　当社製品RVと比較して高さ方向を1/3（幅口49mm、高さ63mm）、重量は半分（約300g）程度となり、RVシリーズの中で最も小型となっています。　　優れた圧力特性　小型であってもRVと同等の優れた圧力特性を示します。　　省スペースでの取付けに対応　ブラケットでの取付けやパネルマウントでの取付けの両方に対応しているため、省スペースでの取付けが可能です。　　漏れが極めて少ない　直動式のためブリードさせることなく圧力調整が出来ますので、漏れが少なくエネルギーロスを抑えられます。

BFダイヤフラムのローリング動作による無類の特徴を備えています。

小型でコンパクトなため、省スペースでの設置が可能です。　開閉圧の差が小さく高精度のリリーフ圧を実現しています。　特殊使用としてリリーフ圧が設定できます。（設定範囲30kPa～300kPa）

超精密制御の可能なエアレギュータ　クリーンルーム対応品　低発塵、低発ガス　リリーフエア、ブリードエア排出用の排気ポート装備　優れた特性　高精度制御　長期間正確に圧力保持

超精密制御の可能なエアレギュータ　クリーンルーム対応品　低発塵、低発ガス　リリーフエア、ブリードエア排出用の排気ポート装備　優れた特性　高精度制御　長期間正確に圧力保持

超精密制御の可能なエアレギュータ　クリーンルーム対応品　低発塵、低発ガス　リリーフエア、ブリードエア排出用の排気ポート装備　優れた特性　高精度制御　長期間正確に圧力保持

超精密制御の可能なエアレギュータ　クリーンルーム対応品　低発塵、低発ガス　リリーフエア、ブリードエア排出用の排気ポート装備　優れた特性　高精度制御　長期間正確に圧力保持

超精密制御の可能なエアレギュータ　クリーンルーム対応品　低発塵、低発ガス　リリーフエア、ブリードエア排出用の排気ポート装備　優れた特性　高精度制御　長期間正確に圧力保持

超精密制御の可能なエアレギュータ　クリーンルーム対応品　低発塵、低発ガス　リリーフエア、ブリードエア排出用の排気ポート装備　優れた特性　高精度制御　長期間正確に圧力保持

超精密制御の可能なエアレギュータ　クリーンルーム対応品　低発塵、低発ガス　リリーフエア、ブリードエア排出用の排気ポート装備　優れた特性　高精度制御　長期間正確に圧力保持