アクティブ除振装置

優れた応答性：レスポンスの良い薄膜ベローズと大流量制御アクチュエータにより、装置上で大きい荷重の移動ステージが動いた場合にも、ストローク変動を小さく抑えることが可能です。　薄型形状：薄型ベローズ方式を採用しているため、薄型の除振装置が可能であり、搭載する装置の低重心化に大きく貢献します。　アクティブ仕様と鉛直方向（Z方向）位置制御仕様の選択：アクティブ仕様でハイスペックな除振装置の他に、鉛直方式（Z方向）位置制御のみできる低コスト仕様をラインナップ　　FVシリーズは全方向フルアクティブ制御が可能なアクティ