OKKの『フルオート高圧水銀UV照射装置』は、光源にハイパワーの高圧水銀灯を用いた自動紫外線硬化装置です。 6"8"兼用モデル、８”１２”兼用モデルの２つを用意し、それぞれのサイズ切り替えはボタンひとつで自動段取り替えを行います。※下記以外のワークも対応可能。 ランプ部にはシャッターを備えることで不要な照射を防止し、ワーク面内の均一な照射を実現致しました。 さらにランプ交換時の取り替え作業性にも配慮、自動段取り替え機能と併せ誰でも簡単に扱える装置設計を行っております。

OKKの『フルオート高圧水銀UV照射装置』は、光源にハイパワーの高圧水銀灯を用いた自動紫外線硬化装置です。 6"8"兼用モデル、８”１２”兼用モデルの２つを用意し、それぞれのサイズ切り替えはボタンひとつで自動段取り替えを行います。※下記以外のワークも対応可能。 ランプ部にはシャッターを備えることで不要な照射を防止し、ワーク面内の均一な照射を実現致しました。 さらにランプ交換時の取り替え作業性にも配慮、自動段取り替え機能と併せ誰でも簡単に扱える装置設計を行っております。

①テープ・フィルムラミネーターは、フィルム・テープをプリント基板やリードフレームなどの精密部品にラミネートするテープ・フィルム貼り付け装置です。


②ウェハラミネーターはバックグラインド用保護テープのウエハへの貼りつけ用途として、



③テープマウンターは、ウェハマウンター(wafe rmounter)とも呼ばれるダイシング用テープのダイシングフレーム(ダイシングリング・リングフレーム)への貼り付けとウェハのマウント、

また、これらの機能を兼用させた兼用機をラインアップしています。

モーター制御による高精細エキスパンドを実現！！0.1mm単位での高さ調整、0.1mm/secでの速度調整が可能。
高分解能での制御を可能とした事でブレードダイシング後のウエハエキスパンド(チップ拡張)のほか、ステルスダイシングなどレーザーダイシング後のウエハ分割(ブレーキング)など繊細な動作を可能としました。

また、自動カット機能を搭載したことにより、グリップリングのはめこみ、拡張、余幅テープのカットまでをスタートボタン一つのワンタッチで行います。
人手による個人差やヒューマンエラーを防ぎ、余分な手間が省け作業効率のUPが見込めます。

本装置は、ウェハ・ガラス・マスクなどの精密で割れやすいワークをクリーンな環境を維持させたまま、高速回転させ遠心力の力で水分を吹き飛ばすことが可能。ウェハキャリアカセットをローターにセット後、スタートボタンを押すだけの簡単操作で、ウェハ0～25枚のリンス・乾燥が可能。「比抵抗値を管理しながらの純水リンス」、「N2パージ」、「静電気の徐電」といったオプションを取る付けることもできる。

インキ・樹脂・接着剤などの硬化に適した研究・試作用~フルオート機まで