６、８インチを両方乾燥させたい・・・
そういった声にお応え致します

本装置は、ウェハ・ガラス・マスクなどの精密で割れやすいワークをクリーンな環境を維持させたまま、高速回転させ遠心力の力で水分を吹き飛ばすことが可能。ウェハキャリアカセットをローターにセット後、スタートボタンを押すだけの簡単操作で、ウェハ0～25枚のリンス・乾燥が可能。「比抵抗値を管理しながらの純水リンス」、「N2パージ」、「静電気の徐電」といったオプションを取る付けることもできる。