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「TOTO(株) 登録製品一覧」
TOTO(株) 登録製品一覧
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静電チャック/ボンディング・キャピラリー他
高い吸着力 ガラス吸着も可能 ファインピッチ35~100μm対応 エアベアリング単体から駆動、制御系を含めたシステム構造まで対応 □1300の1枚型セラミック、平面度5μm
静電チャック/ボンディング・キャピラリー他
高い吸着力 ガラス吸着も可能 ファインピッチ35~100μm対応 エアベアリング単体から駆動、制御系を含めたシステム構造まで対応 □1300の1枚型セラミック、平面度5μm