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製品詳細

ＴＯＴＯ（株）

軸受 その他 材料組立 構成要素/部品 その他 締結部品 構成部品 ファインセラミックス ガラス

半導体・FPDプロセスを支えるTOTOのセラミック商品

高い吸着力　ガラス吸着も可能　ファインピッチ35～100μm対応　エアベアリング単体から駆動、制御系を含めたシステム構造まで対応　□1300の1枚型セラミック、平面度5μm

【所在地】〒253-8577神奈川県茅ヶ崎市本村２－８－１

【電話番号】0467-54-3670 【FAX番号】0467-54-1174

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