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「ハイデルベルグ・インストルメンツ(株) 登録製品一覧」
ハイデルベルグ・インストルメンツ(株) 登録製品一覧
- 対象件数1件
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マスクレス描画装置
【マスクレス描画装置 DWL66+】
主な特長
・バイナリー(2D)描画 最小描画サイズ:0.3μm
・グレイスケール(3D)描画
・ベクター描画
・6つのWriteHead
・4種類のレーザー波長
・最大基板サイズ:9インチ角
・オートフォーカスシステム
・様々なデータ形式に対応
