マスクレス描画装置

【マスクレス描画装置 DWL66+】

主な特長

・バイナリー(2D)描画 最小描画サイズ：0.3μｍ

・グレイスケール(3D)描画

・ベクター描画

・6つのWriteHead

・4種類のレーザー波長

・最大基板サイズ：9インチ角

・オートフォーカスシステム

・様々なデータ形式に対応