次世代アクチュエーター用リニアセンサー、分解能1.6nm

■ディップスイッチによりアップ／ダウンパルス出力、またはA相B相矩形波出力の選択が可能
■1000～100分割まで、8段階の分割数セレクトが可能
◎仕様
･A相、B相：差動ラインドライバー出力
･アップ／ダウン：差動ラインドライバー出力
･Z相：差動ラインドライバー出力（A相、B相とは非同期）
･Z相パルス幅 100±20µsec
･電源電圧 DC＋5V ±5％
◎環境条件
･動作温度 10℃～40℃
･保存温度 -10℃～50℃
･湿度 80％RH以下（結露無きこと）
･振動 10G , 500Hz以下（ヘッド）/3G , 200Hz以下（スケール）
･衝撃 60G , 11msec以下
◎スケール
･格子ピッチ：3.2µm（at 23℃）
･有効長別直線精度（注：台座ありの場合）
MS-16／10 mm：±0.09µm
（レーザー干渉測長器との比較測定において at 23℃）
膨張係数 5.2×10-7/℃（石英）