電気分割ハイブリッドICの採用により分解能0.02µm達成

◎仕様
･A相B相信号：矩形波出力/差動ラインドライバー出力
･Z相パルス出力：差動ラインドライバー出力（A相、B相とは非同期）
･分解能：0.01µm（80分割）
･最大応答周波数：矩形波出力：100kHz（80分割）
･電源電圧：DC＋5V ±5％
◎環境条件
･動作温度 10℃～40℃
･保存温度 -10℃～50℃
･湿度 80％RH以下（結露無きこと）
･振動 10G , 500Hz以下（ヘッド）/3G , 200Hz以下（スケール）
･衝撃 60G , 11msec以下
◎スケール
･格子ピッチ 1.6µm（at 23℃）
･有効長 10mm（台座あり）
･有効長別直線精度（注：台座ありの場合）
･MS-08／10 ：±0.08µm
（レーザー干渉測長器との比較測定において at 23℃）
･熱膨張係数：5.2×10-7/℃（石英）