新しい真空紫外光源ユニットです。「MgF2窓付き高輝度重水素ランプ」を内蔵し、輝度は約4倍高くなりました（当社従来品比）。空冷式と、真空フランジ取り付け部を採用したことにより、使い易さが格段に向上しました。

■特長
●高輝度：約4倍(当社従来品比)
●115nmからの高い真空紫外線強度
●空冷(冷却水不要)
●外部制御可能
　(ランプのON/OFF、ランプ点灯ステータスシグナル)
●光軸調整不要

■用途
●分光光度計、蛍光光度計
●半導体ウエハ、液晶パネルなどの静電気除去
●光イオン化検出器(PID)
●紫外線による材料耐性評価
●光CVD(光気相成長)
●励起用光源