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製品詳細
浜松ホトニクス(株)
S2D2真空紫外(VUV)光源ユニット
静電気/ノイズ対策 軸受 その他 光 光源/照明 プロセス装置 構成要素/部品 その他 構成部品 真空機器 その他素材/材料S2D2真空紫外光源ユニットは、小型MgF2窓付き重水素ランプを内蔵した真空紫外光源ユニットです。真空フランジ付属のSUSフレキシブル管と専用の冷却機構により、照射対象物への近接照射や減圧下への設置及び点灯が可能となりました。
コンパクトな光源形状及びSUSフレキシブル管により、各装置への取付け自由度が向上しました。
■特長
●近接照射可能(減圧下での点灯可能)
●簡易ランプ交換
●小型
●長寿命
●115nmからの高い真空紫外線強度
●外部制御可能
■用途
●真空紫外線による静電気除去
●真空紫外分光光度計
●光イオン化源
●紫外線による材料耐性評価
●励起用光源
- 浜松ホトニクス(株)
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【所在地】〒434-0041静岡県浜松市浜北区平口5000
【電話番号】053-584-0200 【FAX番号】053-586-8467
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