ペンタゴンテクノロジーズ製QIII＋ Surface particle detectorは、表面上にあるパーティクルを数秒で計測する事が出来ます。よって、定期メンテナンス時のウェットクリーニング後の清浄度（品質）を、チャンバーの再開放なく毎回同じ品質にする事が可能となります。つまり、経験と勘に頼らずに確実なメンテナンス手法を確立する事へとつながり、効率的なメンテナンスを行う事が出来るようになります。また、洗浄再生部品の出荷前・受入検査等にも使用できます。

【特長】
■0.3μm感度
■簡単な操作と迅速な測定
■ハンディタイプ
■バッテリー駆動
■Ethernet対応
■各種プローブ
■定性分析のための測定後粒子の捕捉（オプション）