小型軽量により装置搭載の自由度が向上！　　ズーム比12の高解像長作動ズーム　光学系を採用し作業性を追及。　軽量・コンパクト・電動ズーム・電動フォーカスで装置組込に最適。

表面状態を観察しながら高さ、深さ、段差等の測定が可能です。　ステージ移動なしで段差測定w

300mm×300mm移動ステージ搭載　　表面状態を観察しながらターゲット像を合わせるだけで、段差測定が可能です。　　大型基板　FPD基板　φ300mmウェハ

PCと計測ソフトとカメラと顕微鏡　セットになった測定システム　計測ソフトの操作は簡単　誰でも使えます！　　ソフトはインストール済みです　200万画素カメラ　14倍ズーム顕微鏡　ハロゲンランプ

驚異のワーキングディスタンス　作動距離285mm　真空チャンバー内部・ケース内のサンプル・近づけることができない精密加工品・発熱する試料・対物レンズ下で作業を伴う場合等に最適です。

驚異のワーキングディスタンス　作動距離285mm　真空チャンバー内部・ケース内のサンプル・近づけることができない精密加工品・発熱する試料・対物レンズ下で作業を伴う場合等に最適です。