本装置は、ＬＥＤの製造・検査工程をさらに省力化できる専用外観検査装置として開発。外観検査においては多数の実績のあるＶｉシリーズの検査機能を踏襲し、高速・高性能検査を可能とした。また、ＬＥＤチップ検査では必須となるエキスパンドされたウェーハの検査に対応、テープフレームやグリップリングの搬送が可能。更に不良チップを高速に除去するピッキング機構や、透過照明などといったニーズに合わせた各種機能（オプション）も新規開発。簡単操作でＬＥＤの製造工程検査において最適な仕様を実現。これにより外観検査装置Ｖｉシリーズは，幅広い製品ラインナップを取り揃え，今後ますます複雑化，多様化する外観検査の自動化ニーズに柔軟に対応することが可能となっており、更にパワーデバイス等の省エネに貢献できるグリーンデバイスの検査ニーズにも対応可能となっています。【特長】高性能／高速検査：エキスパンドウェハ検査対応　簡単レシピ作成：ナビゲーション機能により短時間でレシピ作成　豊富なオプション：ピッカー、透過照明等