『ピュアベータは、それ自体が超高純度のSiC』だから、　板厚の厚いものも製作可能　複雑な形状でも精密加工　耐食性（耐アンモニア、耐酸化性ガス）に優れる　寸法精度が高い　耐高温変形性に優れる（くり返し仕様による変形がない）　ピンホール、はがれの心配なし　耐熱衝撃性が高い　高熱伝導率による均熱性が高い　など、半導体製造に最適な特徴を持っています。