プロキシミティ露光実験に最適

地球上には環境負荷を低減する光もあります。　UV光+オゾンを利用した光気相反応は、薬液を使用せず、薬品残留物の影響も受けにくいので、環境に低負荷のクリーンな表面処理を実現いたします。さらに非接触のため、半導体や液晶などの微細な構造を持つ薄膜の表面処理に適しています。

プロキシミティ露光実験に最適

プロキシミティ露光実験に最適