チップのトレー詰めを主にチップの外観検査、エポキシボンダー、レーザーダイオードテスト及び検査等に最適　　ワイヤープル、ボールシェア、ダイシェア、スタッドプル、ツィーザープル及びボールプルに対応　測定レンジごとのモジュール交換を不要とする高精度と分解能を実現

SMIF PODに加え、8インチカセットも洗浄可能に　個別洗浄でクロスコンタミネーション防止　大容量ストッカーに10個までセット可能　　洗浄・乾燥・除電を全自動。純水ジェット洗浄、温風乾燥方式！　多量処理を可能にした独自のチャンバー構造　ウェハーカセット、ハードディスク、マスクケース等各種容器に対応

FPDのアレイ工程、セル工程で付着したパーティクルをインラインにて表裏同時にクリーニング　基板サイズは小板から大板まで対応　　有効10～100mmの小型クリーナー　※イオナイザーとの組合せにより更に効率アップ！　　セルのTAB付けリード部のダスト除去　小型基板の表面クリーニング　　幅狭フィルムのクリーニング　スリッター部のクリーニング

イオン発生量を自在にコントロール　逆V字状電極ホルダと高速エアーで最良のイオンバランスを実現

コンパクトセンサヘッドで様々な測定位置、設置個所に柔軟に対応。

高効率DC方式とクラス最大の風量による高速除電　半導体、LCD等の精密部品組立工程や製造装置内での静電気除去を目的とした、省スペースで高性能なイオン送風器。

イオン発生量を自在にコントロール　逆V字状電極ホルダと高速エアーで最良のイオンバランスを実現