単軸のPIHera(R)システムは、ストローク50～1800μmのピエゾナノポジショニングステージです。
【特徴】
○ストローク50～1800μm
○高精度、低コスト
○0.1nmの分解能
○静電容量センサーを内蔵
○0.02%の位置決め精度
○摩擦のない高精密フレクシャガイドシステム
○PICMA(TM)ピエゾアクチュエータによる驚異の長寿命
○X、XY、Z、XYZバージョン
○真空対応バージョンも用意

【特徴】
○内蔵のクローズドループピエゾモーター駆動により、100mm/sの高速化を実現
○ストローク：25×25mm
○分解能0.1μmのリニアエンコーダを内蔵
○コンパクトな設計：断面高さ32mm、設置面積170×170mm
○センター開口部：78×78mm、66×66mm（最大拡大時）
○静止時に自動ロック
○PIピエゾナノポジショニング／スキャニングステージに適合

コンパクトでコストパフォーマンスの高いアクチュエータ。高分解能と安定した位置決めを実現。移動範囲は7.4mm

耐荷重5kg
トラベルレンジ：34mm/42°
アクチュエータ分解能：40nm
最小インクリメンタルモーション：0.2μm
再現性：±0.1μm
ファイバー光学アライメント用スキャンアルゴリズム含む

新しいＰｉｍａｇＶ－２７３リニアアクチュエータは、マイクロメートル範囲またはマイクロマニピュレーションのための高速な処理タスクと精密な位置決め用の製品です。 さらに大きなダイナミクスと精度を確保するボイスコイルドライブに付属しています。費用対効果も高いのが特長です。

高速動作・中程度耐荷重が特長のパラレルキネマティック・ヘキサポッド
H-840 型システム

耐荷重: 30 kg
トラベルレンジ:最高100 mm / 60°
再現性:±0.4 μm
最高速度：50mm/sec
ピボットポイント（回転中心）の任意設定が可能

PICA(TM) Thruアクチュエータは、ピエゾ空洞積層型アクチュエータです。
センター開口部の利点と、スタックアクチュエータの強度および発生力を兼ね備えています。
【特徴】
○透過光アプリケーションまたは機械的与圧に適したセンター開口部
○10-9サイクルを超えても高信頼性を維持
○最大断面直径：56mm
○多様な形状を用意
○サブミリセカンドの応答性、サブナノメートルの分解能
○真空および非磁性対応バージョンを用意

P-726 PIFOC(R)ナノフォーカスシステムは、高分解能が求められる今日の顕微鏡アプリケーションで使用されている、開口数の大きい大型対物レンズに対して、高速ステップ時間を提供するために開発されました。
特徴】
○大型対物レンズの高ダイナミックポジショニング／スキャニング
○共振周波数1120Hz（210g負荷時560Hz）
○標準セットリング時間約6ms
○ストローク100μm
○静電容量センサーによるダイレクト計測で、高リニアリティ、安定性、ダイナミクスを実現
○分解能～0.3nm
○摩擦のない精密フレクシャガイドによりフォーカス安定性アップ

PIFOC(R) P-737高速垂直位置決めシステムは、顕微鏡検査のためのXYステージで使用するように設計されています。
【特徴】
○高さ方向の高速ピエゾ動作：ストローク～250μm
　（500μmまでカスタマイズ可能）
○ナノメートル分解能
○大きなセンター開口部によって標本押さえに対応
○手動またはモーター駆動のXY OEMステージに機械的に適合
○ミリセカンドレンジの応答時間

P-753 LISA（リニアステージアクチュエータ）高速ナノポジショナーはリニアアクチュエータ、およびステージの両方としてご使用頂けます。
【特徴】
○汎用性の高い設計：フレクシャステージまたはアクチュエータ
○分解能0.05nm、高速応答
○静電容量センサーによる高リニアリティ
○摩擦のない精密フレクシャガイドにより、直進性の極めて高い動きを実現
○PICMA(TM)ピエゾアクチュエータによる驚異の長寿命
○真空対応および非磁性バージョンを用意

極めて精密なP-752シリーズ高速ナノポジショニングステージは、最大位置決め／スキャニングレンジが35μm、超高速セットリングタイムと、直進性が非常に高いことが大きな特徴です。
【特徴】
○分解能0.1nm、高速応答
○ストローク～35μm
○静電容量センサーによる高リニアリティ
○フレクシャガイドにより摩擦のない直進性の高い動きを実現
○PICMA(TM)ピエゾアクチュエータによる驚異の長寿命

【特徴】
○コンパクト設計：設置面積わずか44 x 44mm
○ストローク～120μm
○分解能～0.2nm
○低コストの機構／電子システム構成
○PICMA(TM)ピエゾアクチュエータによる驚異の長寿命
○Zステージ、XY、XZ、およびXYZバージョンを用意

高い動作性をもつP-517およびP-527多軸ピエゾナノポジショニングステージは、XYθZ、XY、およびXYZの構成で、リニアストロークが最大4mradの範囲での位置決めが可能です。
【特徴】
○2軸および3軸バージョン（XYおよびXYθZ）
○ストローク～200μm
○サブナノメートルの分解能
○摩擦のない高精密フレクシャガイドシステム
○静電容量センサーによる高いリニアリティ
○パラレル制御／計測構造による応答性の向上／多軸の精密制御
○センター開口部 66 x 66mm
○PICMA(TM)ピエゾアクチュエータによる驚異の長寿命

P-734高ダイナミックXYピエゾナノポジショニングステージは、サブナノメートルの分解能と平坦度の高い動きで、100 x 100μmのリニアストロークを実現します。
【特徴】
○表面形状解析および走査型顕微鏡に最適な超精密軌道制御
○パラレル制御／計測による応答性の向上／多軸の精密制御
○ストローク：100 x 100μm、56 x 56mmのセンター開口部
○静電容量センサーにより分解能0.4nmを実現
○PICMA(TM)ピエゾアクチュエータによる驚異の長寿命

【特徴】
○コンパクト設計
○光ビームの偏向～120mrad（～6.8°）
○同一平面回転軸と固定ピボットポイントが分極回転を回避
○ミラーは工場取り付け済み
○ミリセカンドの応答、0.5μradの分解能
○クローズドループ位置サーボコントローラにより高精度を実現
○直径最大12.5mm（0.5インチ）のミラー用
○摩擦のない精密フレクシャガイドシステム
○パラレル制御によるダイナミクスの向上と多軸の精密制御

P-5x8シリーズ、Z/チップ/チルトナノポジショナー／スキャナは、オープンフレームの高分解能ピエゾ駆動ステージで、最大240μmおよび2.4mradの動作範囲と、最大0.5nmおよび50nradの分解能を実現します。
【特徴】
○1軸および3軸バージョン
○クローズドループの垂直／チルトレンジ～200μm/2mradを実現
　（オープンループは～240μm/2.4mrad）
○パラレル制御／計測構造による応答性の向上／多軸の精密制御
○摩擦のない精密フレクシャガイドシステム
○PICMA(TM)ピエゾアクチュエータによる驚異の長寿命
○センター開口部66 x 66mm
○静電容量センサーによる高いリニアリティ

【特徴】
○薄型で組み込みが簡単：16.5mm、センター開口部80 x 80mm
○ストローク～200 x 200μm
○パラレル制御／計測構造による応答性の向上／多軸の精密制御
○高ダイナミクスを誇るダイレクトドライブバージョン
○センサーの選択が可能：歪みゲージ（低価格）または静電容量センサー（高性能）
○PICMA(TM)ピエゾアクチュエータによる驚異の長寿命
○ロングストロークの顕微鏡ステージとの組み合わせまたは、さらに長いストローク
○薄型で、顕微鏡検査アプリケーション用に最適化

Z軸PIHera(R)システムは、ストロークが最大400μm、サブナノメートルの分解能を提供する、低価格のピエゾナノポジショニングステージです。
○垂直ストローク：50～400μm
○高精度、低コスト
○0.1nmの分解能
○静電容量センサーを内蔵
○0.02%の位置決め精度
○摩擦のない精密フレクシャガイドシステム
○PICMA(TM)ピエゾアクチュエータによる驚異の長寿命
○X、XY、Z、XYZバージョン
○真空対応バージョンも用意

【特徴】
○表面計測について、6軸すべてのスキャニングと位置決めが可能
○リニアストローク800 x 800 x 200μm
○最大8mradの回転レンジ
○パラレル制御／計測構造による応答性の向上／多軸の精密制御
○静電容量センサーでのダイレクト計測により優れたリニアリティを実現
○PICMA(TM)ピエゾアクチュエータによる驚異の長寿命
○摩擦のない精密フレクシャガイドシステム
○6軸すべてのアクティブ軌道制御

S-330ピエゾチップ／チルトプラットフォームは高速でコンパクトなチップ／チルトユニットであり、2つの直交軸を中心としたトッププラットフォームの角度の動きを正確に実現します。


【特徴】
○分解能～20nrad、優れた位置安定性
○光ビームの偏向～20mrad（＞1°）
○パラレル制御設計によるダイナミクス、安定性、およびリニアリティの向上
○同一平面回転軸と固定ピボットポイントが分極回転を回避
○サブミリセカンドの応答
○直径最大50mmのミラー用
○リニアリティ向上のためのクローズドループバージョン
○優れた温度安定性