【特徴】
○20mmの標準ストローク
○コンパクトでコスト効率に優れた設計
○0.03nmの分解能
○プッシュプルフォース～10N
○低動作電圧
○静止時の自動ロック、発熱なし、ナノメートル精度の安定性
○非磁性および真空対応の動作原理

Q-614回は小さく、高分解能を備えています。ターンテーブルは、Q-614回転ステージ、市場で入手可能な最小の精密回転ステージの一つとなって高直径わずか14ミリメートル、ちょうど10ミリメートルです。
そのため非常にコンパクトなデザイン、> 360°、最大70°/ sの速度の回転範囲には、マイクロマニピュレーション、バイオテクノロジー、オートメーションアプリケーションでの使用に最適です。 Q-614はまた、10-9 hPaの真空互換バージョンがあります。

耐荷重5kg
トラベルレンジ：34mm/42°
アクチュエータ分解能：40nm
最小インクリメンタルモーション：0.2μm
再現性：±0.1μm
ファイバー光学アライメント用スキャンアルゴリズム含む

わずか21 mm幅、高分解能リニアエンコーダを搭載。