有限会社ソーラーリサーチ研究所

空気でつかむ。気体を噴出することによりウエハ・ガラス・レンズ・フィルムを非接触にて搬送する

当社が発明・開発した非接触搬送装置「フロートチャック」は、ノズルにより高速気体をワークに噴出することによりワークを空中に浮遊した非接触の状態にて懸垂保持し、搬送します。
「フロートチャックSA-C型」は負圧発生機構として、エゼクタ効果およびベルヌーイチャック効果を有しており、さらにそれら効果を増大させるコアンダー効果を有しており、高効率な非接触搬送装置です。
半導体ウエハ、液晶ガラス基板、レンズ、太陽電池、光学フィルム他を傷、汚れを付着させずに非接触にて搬送します。