■用途　
半導体ウェハー（各種材料）・ガラス・金属などの厚さ測定　

■特徴　
・エアー背圧方式：比接触測定なのでキズ・コンタミなどのダメージを与えない　
・膜付・色艶などの材質依存がない：簡単に高精度測定が可能　
・水漏れ状態での測定が可能　
・鏡面・透明・半透明でも問題なく測定可能

■性能　・分解能：0.1μm

0.002mmのスキマも安定検出！！　
±1μm繰返し精度　
IP67悪循環に強い！！　

■改善事例：工作機械のワーク着座確認　
IP67の保護構造、クーラントが飛び散る工作機械内での設置が可能。エア配管が短くなり、応答速度が向上、機械加工の高精度化が実現します。　

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気体噴射の膨張冷却には予熱が効果的！

＜ＨＯＴ－ＡＣＥ　空気圧ヒーター＞

・圧縮空気の膨張冷却と凍結

・液化ガスの気化冷却と凍結

・エアタービンの排気膨張冷却と凍結・・・など

1ナノメートルを上回る超精密位置決め精度　

■ミニチュア6軸ステージ　
コンパクトサイズ、パラレル制御　
製品サイズ：φ100×118mm　
ストローク：X/Y＝40ｍｍ、Z＝13ｍｍ、U/V＝±11°、W＝±30°　
位置決め精度：±0.5μm　　
耐荷重：5kg　

●サイズ違いのラインナップ有り　　


■XYZ3軸ピエゾステージ　
超高精度、高剛性、長寿命。非磁性、真空対応可　
ストローク：45×45×15μm〜300×300×300μm　位置決め精度：4nm
センサ：静電容量式　
耐荷重：5kg　　

■XY2軸リニアモーターステージ　
高速、高精度、省スペース。非磁性、真空対応可　　
ストローク：25×25mm〜300×300mm　
移動速度：10mm/S　
位置決め精度：0.3μm　
耐荷重：5kg　

●ナノポジショニングステージを搭載可能

<特長>

・周囲の空気を巻き込み、供給エアーを増幅して噴射

・静音性、省エネ性、打力性に優れる

・小～大型、長尺、マルチタイプや、コンプレッサー、ブロワ仕様など各種ラインアップ

クリーンエス処理

厚膜フッ化ニッケル不働態処理

●ほぼ完全なＮｉＦ２を形成できます。

●フッ素ガス及びフッ素系の強腐食性ガスに対する耐食性に優れています。

●黄銅・ステンレス、アルミニウム素材上に施工できます。

●マイクロビッカース硬度（Ｈｍｖ）は500～600あり、皮膜の強度と耐久性があります。

FA、遊戯、物流、レジャー施設などの無人搬送台車、産業車輌などの駆動用として、多くの場所で活躍しています。高い速度制御性・省エネルギー・省メンテナンスなどの特徴を備えています。

微量、突刺、平面用電極との組合せで、いろいろなサンプルの高精度測定が可能。

Excelによるデータ管理が簡単
パソコンへのデータ送信機能

・取り込みデータのトレンド表示ができます。
計量法型式承認済　型式承認番号　第SSO91号
￥110,000（税別）

パソコンへのデータ送信機能
Excelによるデータ管理が簡単

・導電率、比抵抗、塩分測定が可能
・測定データメモリ機能付
・堅牢な防水機能（IP67）

本シリーズは応答速度が速く、安定性に優れた高精度な測定が可能です。

電極は保護カバー付投げ込みセンサと、フラン瓶用センサがあり、河川、湖沼、海等のフィールド測定から曝気槽等の処理排水のＢＯＤ測定まで広く対応できます。

各種ホース口径・長さに対応　
・ナイロン・・・50℃以下　
・テフロン・・・200℃以下　
・SUS・・・300℃以下　

温度センサー内蔵　
防滴タイプ製作可能　
使用電圧：100V/200V　

■ホット メルト ホース
・電気コネクタは市場の標準品と互換性があります。　
・温度仕様：MAX.230℃　
・ホース内径：φ8、φ13、φ20mm　
・電圧：220V　
・測温体：Ni-120、Pt-100

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ANSYSは、さまざまな現象を検証可能な、業界トップクラスのシミュレーションツールです。
複雑な現象を「見える化」し、品質向上・コスト削減に貢献。自動車、エレクトロニクス、機械など、様々な業界で活用されています。

オイルミスト・金属摩耗粉が発生しない

完全給油不要の垂直コンベア。

・最大6.5ｍ/sec・・・高速

・メンテナンス不要・・・高耐久

・高精度な・位置決め・推力制御・・・高精度

・モータ音が静か・・・静音性

金属コンタミ＆強酸性原液対応

高機能樹脂を使用することで優れた耐蝕機能を保持しています

PFCシリーズは、クラウド対応の産業用PLC。

MQTT、OPC UA、MT Connect、Modbusなどに対応し、電力・温度・AI/DIなどの入力値をプロトコル用のデータへ変換可能!

編集可能なCADデータを作製 1枚～大型案件まで受入OK

スキャニングで終わらせない 設計目線のCADデータ化

６０年の製品の進化と共に培った荷重測定のノウハウ！

■測定効率を高めたい

■特殊なサンプルを測定したい

■ＪＩＳ規格に沿った測定がしたい

■測定の再現性を高めたい

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■ＭＣナイロン融着製品

ＭＣナイロンと鋼材を独自の方法でドッキングさせた複合材料です。

１．耐熱温度（-20℃～120℃）

２．耐摩耗性に優れ長寿命

３．芯金実績材質＝鉄、ＳＵＳ

■ウレタンコーティング

製品保護・設備保護・耐摩耗

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