クリーンルームで使用する水平多関節型のロボットです。
前後 (X軸) ・旋回 (θ軸) ・上下 (Z軸) +ハンド回転 (0～180°) の動作が可能でウエハの大気中搬送に対応致します。
駆動モータは、ACサーボモータで全軸アブソリュートエンコーダ仕様です。

本装置は、石英ガラスウェーハを、ステージ①～ステージ②のキャリア間で自動的に枚葉で移載を行うシステムです。
使用するカセットは、ＦＯＵＰ・ＦＯＳＢキャリアです。
基本的にキャリアは、作業者がステージにセットします。

紹介：AlSiC基板は優れた熱力学的および機械的特性により、高出力 IGBT モジュールを搭載している設備などに幅広く応用されています。
応用分野：基板関連製品は鉄道、スマートグリッド、パワーエレクトロニクスなどの分野に応用されています。
製品特性：高熱伝導率、低膨張、高剛性、強結合、良好な溶接性

紹介：機械加工業界におけるダイヤモンド工具の開発・発展により、AlSiCハウジングはさまざまな複雑な形状のハウジングに機械加工できるようになりました。 AlSiCハウジングは、優れた熱力学的および機械的特性、軽量、優れた気密性により、熱を保持することに優れた包装材料として使用されています。
応用分野：ハウジング関連製品は位相配列レーダー、航空宇宙、衛星通信などの分野に応用されています。
製品特性：高熱伝導率、低膨張、低密度、高気密性、強結合、良好な溶接性、高寸法安定性

紹介：両面冷却技術は、近年のパワーモジュール製品向けの新しい構造技術であり、デバイスの寄生インダクタンスと寄生抵抗を効果的に低減し、デバイスの電力密度と信頼性を効果的に向上させます。
本製品は両面冷却装置などに欠かせない主材料として、主に「熱伝導」「電気伝導」「支持」の役割を果たします。
応用分野：スペーサー関連製品は新エネルギー自動車、パワーエレクトロニクス、スマートグリッドなどの分野に応用されています。
製品特性：高熱伝導率、低膨張、高電気伝導率、強結合、良好な溶接性

ポリシリコンはシリコン結晶の集合体です
セミグレード 11Nポリシリコン
ソーラーグレード 6N ポリシリコン

MgO・Al2O3（スピネル）

ダミーウェーハとは、テストウェーハとも呼ばれ、製品ウェーハと異なり、主に機器の実験や検査に用いられるウェーハのことです。製造装置の稼働テスト、搬送テストやメカニカル評価（切る、削る、磨く等）などに幅広く使用されます。

サファイアウェーハ、
サファイアウィンドウ、
サファイアインゴット、
PPS基板（Patterned Sapphire Substrates）

このコンテナをご使用いただくことでESG経営に貢献できます。

サプライチェーンにおける温室効果ガス排出量
御社のScope3カテゴリー1の削減に貢献します！

【01「特化則」「有機則」非該当！】
工場や屋内での塗装作業管理のリスクを低減
【02優れた作業性！】
屋内でも非常に早い乾燥性で作業効果UP
調合不要で扱いやすい1液タイプ
用途に応じた容量展開

●ローバル　エコタイプ
強力さび止めで亜鉛めっきの補修～代替まで！
●ローバル　シルバーエコタイプ
めっき補修の定番品！簡単・手軽に塗装できる！

インターバルで自動測定（1000データメモリ）
通信機能でデータ処理が簡単に

・隔膜アンモニア電極方式
・防水機能（IP67）
・標準添加法、削減法が可能

●上下水道の水質チェックや浄化槽の塩分測定など

小型軽量！
デジタル出力でノイズにも強いトルク計測の決定版！

◇精度0.03％FS！
◇5μNmからの高分解能測定！
◇許容過負荷500％

見えない床と床下の空洞調べてみませんか？
■床のレベル調査
■床下の空洞調査
調査から対策工事まで対応します！

＜シロキサンフリー＞
KH100は、接点障害の原因となるシロキサンを含んでいないため、基板上やスイッチ、リレーの近くでもお使いいただけます。

＜二液性カートリッジ型レジン＞
二液性のカートリッジ型レジンで、コーキングガンに取り付けて使用します。
二液がノズル内で混合するため、混ぜる必要がなく、簡単に使用できます。

最適なノズルを提案します。
一般的な送風機と比較してブロワのみで約60％冷却時間短縮
さらにミスト使用で約90％冷却時間短縮

高感度pH電極をベースにした炭酸ガスメータ
■持ち運びに便利なハンディタイプ
■防水機能（IP67）
パソコンへデータ送信機能

●「金属加工技術」と「樹脂成形技術」両方の技術を活用。
●金属、樹脂を自社内で製造対応し、コストメリットを生み出す。
●樹脂単品成形からインサート成形、アウトサート加工／組立が可能。
●専用工場（とちぎ千塚工場／栃木県栃木市）で製造。

●多段カスケードにより従来品を大きく上回る極低温を実現
●電子機器、理学や薬学関連の実験や、環境試験など
●約15分で室温から極低温まで冷却面を冷やします
●専用コントローラーで、±0.1℃単位の正確な温度管理
●ほとんど結露しない新開発のアクリルカバー採用
●冷却にコンプレッサーを使わないのでとても静かです