■用途　
半導体ウェハー（各種材料）・ガラス・金属などの厚さ測定　

■特徴　
・エアー背圧方式：比接触測定なのでキズ・コンタミなどのダメージを与えない　
・膜付・色艶などの材質依存がない：簡単に高精度測定が可能　
・水漏れ状態での測定が可能　
・鏡面・透明・半透明でも問題なく測定可能

■性能　・分解能：0.1μm

■特長

１．超軽量、コンパクトで経済的。
２．潤滑油交換不要のメンテナンスフリー。

３．円滑な回転。

４．いかなる取付面にも自由に取り付け可能。

●送液量が常に一定で品質が安定

●流量計で実注入量を監視

●プロセスの自動化で維持管理・業務の省力化に貢献

●スラリーで摩耗しない

●トータルコストの大幅な削減にも貢献

＜ロボット＆FAライン・電気信号・エア供給一体型省配管システム＞

【スリットスパイラルチューブ】

各種サイズを標準化し、低コスト・短納期を実現！

【スリットストレートチューブ】

ケーブルベアなどの屈曲移動に対し、自在に追従します。

●ステンレスより耐食性が優れている。

●金属アレルギーを起こさない体にやさしい。

●比重は4.51と軽く、銅の約60％である。

●縦弾性係数が小さく、たわみやすい。

●非磁性体である。

高品質シリコンクロム銅線を使用。

ショットピーニング処理で耐久性を向上。

曲がり管（９０°エルボ管）

直接取付可能！

気体噴射の膨張冷却には予熱が効果的！

＜ＨＯＴ－ＡＣＥ　空気圧ヒーター＞

・圧縮空気の膨張　冷却と凍結

・液化ガスの気化　冷却と凍結

・エアータービンの排気膨張冷却と凍結・・・など

■バナー燃料

■潤滑油

■切削油



もちろん「水」も測れます！

■アブソリュート計測■

立ち上がり時の原点復帰不要！

■高性能■

分解能　０．５μｍ

直線性　±０．０１％　Ｆ．Ｓ．以下

耐振動　３０Ｇ、耐衝撃　１００Ｇ

最長　７６００mm.

■多彩なインターフェイス■

アナログ、ＳＳＩ、ＣＡＮ、Ｐｒｏｆｉｂｕｓ

ＥｔｈｅｒＣＡＴ、ＥｔｈｅｒＮｅｔ／ＩＰ、Ｐｒｏｆｉｎｅｔ　ＲＴ

◆自由設計に対応したクリーンブースをご提案◆

・アルミフレームはＴロック・ボルト・エンドキャップでかんたん組立

・ステンレス製ＦＦＵ薄型・軽量・省電力・大風量タイプ

弊社のハーネス加工品はすべて台湾で生産しております。常に色違いの電線を在庫しております。

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