Z軸PIHera(R)システムは、ストロークが最大400μm、サブナノメートルの分解能を提供する、低価格のピエゾナノポジショニングステージです。
○垂直ストローク：50～400μm
○高精度、低コスト
○0.1nmの分解能
○静電容量センサーを内蔵
○0.02%の位置決め精度
○摩擦のない精密フレクシャガイドシステム
○PICMA(TM)ピエゾアクチュエータによる驚異の長寿命
○X、XY、Z、XYZバージョン
○真空対応バージョンも用意

【特徴】
○表面計測について、6軸すべてのスキャニングと位置決めが可能
○リニアストローク800 x 800 x 200μm
○最大8mradの回転レンジ
○パラレル制御／計測構造による応答性の向上／多軸の精密制御
○静電容量センサーでのダイレクト計測により優れたリニアリティを実現
○PICMA(TM)ピエゾアクチュエータによる驚異の長寿命
○摩擦のない精密フレクシャガイドシステム
○6軸すべてのアクティブ軌道制御

S-330ピエゾチップ／チルトプラットフォームは高速でコンパクトなチップ／チルトユニットであり、2つの直交軸を中心としたトッププラットフォームの角度の動きを正確に実現します。


【特徴】
○分解能～20nrad、優れた位置安定性
○光ビームの偏向～20mrad（＞1°）
○パラレル制御設計によるダイナミクス、安定性、およびリニアリティの向上
○同一平面回転軸と固定ピボットポイントが分極回転を回避
○サブミリセカンドの応答
○直径最大50mmのミラー用
○リニアリティ向上のためのクローズドループバージョン
○優れた温度安定性

【特徴】
○20mmの標準ストローク
○コンパクトでコスト効率に優れた設計
○0.03nmの分解能
○プッシュプルフォース～10N
○低動作電圧
○静止時の自動ロック、発熱なし、ナノメートル精度の安定性
○非磁性および真空対応の動作原理

Q-614回は小さく、高分解能を備えています。ターンテーブルは、Q-614回転ステージ、市場で入手可能な最小の精密回転ステージの一つとなって高直径わずか14ミリメートル、ちょうど10ミリメートルです。
そのため非常にコンパクトなデザイン、> 360°、最大70°/ sの速度の回転範囲には、マイクロマニピュレーション、バイオテクノロジー、オートメーションアプリケーションでの使用に最適です。 Q-614はまた、10-9 hPaの真空互換バージョンがあります。

【特徴】
○コンパクト設計
○光ビームの偏向～120mrad（～6.8°）
○同一平面回転軸と固定ピボットポイントが分極回転を回避
○ミラーは工場取り付け済み
○ミリセカンドの応答、0.5μradの分解能
○クローズドループ位置サーボコントローラにより高精度を実現
○直径最大12.5mm（0.5インチ）のミラー用
○摩擦のない精密フレクシャガイドシステム
○パラレル制御によるダイナミクスの向上と多軸の精密制御

P-734高ダイナミックXYピエゾナノポジショニングステージは、サブナノメートルの分解能と平坦度の高い動きで、100 x 100μmのリニアストロークを実現します。
【特徴】
○表面形状解析および走査型顕微鏡に最適な超精密軌道制御
○パラレル制御／計測による応答性の向上／多軸の精密制御
○ストローク：100 x 100μm、56 x 56mmのセンター開口部
○静電容量センサーにより分解能0.4nmを実現
○PICMA(TM)ピエゾアクチュエータによる驚異の長寿命

高い動作性をもつP-517およびP-527多軸ピエゾナノポジショニングステージは、XYθZ、XY、およびXYZの構成で、リニアストロークが最大4mradの範囲での位置決めが可能です。
【特徴】
○2軸および3軸バージョン（XYおよびXYθZ）
○ストローク～200μm
○サブナノメートルの分解能
○摩擦のない高精密フレクシャガイドシステム
○静電容量センサーによる高いリニアリティ
○パラレル制御／計測構造による応答性の向上／多軸の精密制御
○センター開口部 66 x 66mm
○PICMA(TM)ピエゾアクチュエータによる驚異の長寿命

【特徴】
○コンパクト設計：設置面積わずか44 x 44mm
○ストローク～120μm
○分解能～0.2nm
○低コストの機構／電子システム構成
○PICMA(TM)ピエゾアクチュエータによる驚異の長寿命
○Zステージ、XY、XZ、およびXYZバージョンを用意

極めて精密なP-752シリーズ高速ナノポジショニングステージは、最大位置決め／スキャニングレンジが35μm、超高速セットリングタイムと、直進性が非常に高いことが大きな特徴です。
【特徴】
○分解能0.1nm、高速応答
○ストローク～35μm
○静電容量センサーによる高リニアリティ
○フレクシャガイドにより摩擦のない直進性の高い動きを実現
○PICMA(TM)ピエゾアクチュエータによる驚異の長寿命

P-753 LISA（リニアステージアクチュエータ）高速ナノポジショナーはリニアアクチュエータ、およびステージの両方としてご使用頂けます。
【特徴】
○汎用性の高い設計：フレクシャステージまたはアクチュエータ
○分解能0.05nm、高速応答
○静電容量センサーによる高リニアリティ
○摩擦のない精密フレクシャガイドにより、直進性の極めて高い動きを実現
○PICMA(TM)ピエゾアクチュエータによる驚異の長寿命
○真空対応および非磁性バージョンを用意

PIFOC(R) P-737高速垂直位置決めシステムは、顕微鏡検査のためのXYステージで使用するように設計されています。
【特徴】
○高さ方向の高速ピエゾ動作：ストローク～250μm
　（500μmまでカスタマイズ可能）
○ナノメートル分解能
○大きなセンター開口部によって標本押さえに対応
○手動またはモーター駆動のXY OEMステージに機械的に適合
○ミリセカンドレンジの応答時間

P-726 PIFOC(R)ナノフォーカスシステムは、高分解能が求められる今日の顕微鏡アプリケーションで使用されている、開口数の大きい大型対物レンズに対して、高速ステップ時間を提供するために開発されました。
特徴】
○大型対物レンズの高ダイナミックポジショニング／スキャニング
○共振周波数1120Hz（210g負荷時560Hz）
○標準セットリング時間約6ms
○ストローク100μm
○静電容量センサーによるダイレクト計測で、高リニアリティ、安定性、ダイナミクスを実現
○分解能～0.3nm
○摩擦のない精密フレクシャガイドによりフォーカス安定性アップ

PICA(TM) Thruアクチュエータは、ピエゾ空洞積層型アクチュエータです。
センター開口部の利点と、スタックアクチュエータの強度および発生力を兼ね備えています。
【特徴】
○透過光アプリケーションまたは機械的与圧に適したセンター開口部
○10-9サイクルを超えても高信頼性を維持
○最大断面直径：56mm
○多様な形状を用意
○サブミリセカンドの応答性、サブナノメートルの分解能
○真空および非磁性対応バージョンを用意

FLIR Eシリーズは、軽量小型デザインと高解像度、高機能を兼ね備えたサーモグラフィです。
電気機器や設備、機械システムの予知保全や定期点検にFLIR Eシリーズを使うことで、エネルギー消費を最小限に抑えながら最大効率での操作が可能になります。

わずか21 mm幅、高分解能リニアエンコーダを搭載。

耐荷重5kg
トラベルレンジ：34mm/42°
アクチュエータ分解能：40nm
最小インクリメンタルモーション：0.2μm
再現性：±0.1μm
ファイバー光学アライメント用スキャンアルゴリズム含む

操作がカンタン！
●実験計画
●原因分析
●品質管理
初年度１ユーザー　年間158,400円から始められます！

より効果的な反射防止処理・寸法精度を提案します！
●２μｍ以下の薄膜で艶消しブラックを表現。
●一方は「ミラー」、一方は「ブラック」高精細なパターン形成にも対応。

高い耐面圧性と耐磨耗性、耐熱性780MPa級を超えるハイテン材でも従来どおりのプレスが可能！