USG、PSG、BPSG等の層間絶縁膜及びシリコン基板の裏面コートを形成する連続式常圧CVD装置です。　過去400台余りの実績を持つAECシリーズの高スループット及び、AMAXシリーズの高品位と高メンテナンス等の長所を取り入れました。　高性能を維持し、高スループット、高メンテナンス性。　省スペース、デバイス製造コスト低減　φ75mm～φ150mmウェハまで対応できる柔軟性。

運動用・固定用、単動PTFEシールジャケット+スプリング内蔵シール（回転用にはフランジ付きを用意しております）　幅広いアプリケーションで優れたシール性を発揮します（ポンプ、バルブ、油圧シリンダー、ロボット、真空機器、化学装置、水スイベル等）　優れた耐摩耗性　ほとんど全ての流体、薬品、ガスに対して耐性を有します

運動用・固定用、単動PTFEシールジャケット+スプリング内蔵シール（回転用にはフランジ付きを用意しております）　幅広いアプリケーションで優れたシール性を発揮します（ポンプ、バルブ、油圧シリンダー、ロボット、真空機器、化学装置、水スイベル等）　優れた耐摩耗性　ほとんど全ての流体、薬品、ガスに対して耐性を有します