「供給装置」
供給装置一覧
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薬液用微小流量計AM-3102他
メタルフリー構造のマスフローメーター 酸、アルカリを含め、ほとんどの液体が計測可能 H2O換算1.0g/min以下の微小流量計測を実現 コンピューターとのインターフェース搭載(RS-232C) 各種液体を精密制御、気化供給 SUS-316Lを使用したオールメタルのクリーン構造 酸、アルカリ以外の液体であれば気化供給可能 C2H5OH換算15g/min以下の液体の気化供給が可能 コンピューターとのインターフェース搭載(RS-232C、RS-485)
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