製品詳細

石原薬品(株)

エンプラ製品

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石原薬品(株)

【所在地】〒110-0016東京都台東区台東2-26-11

【電話番号】03-3832-8117 【FAX番号】03-3832-8134

【URL】http://www.unicon.co.jp

ポリイミド樹脂ベスペル Sライン
ベスペルとは、米国デュポン社が開発した全芳香族ポリイミド樹脂(超耐熱性プラスチック)です。
1962年の商品化以来、現在に至るまでさまざまな業界の部品として幅広く使用されております。

◆特徴
超耐熱性
・連続使用温度 288℃
・超耐熱性 断続使用温度 480℃
・超耐熱性 極低温(1K以下)使用可能
無潤滑下での限界PV値は汎用エンプラの10倍以上
高温下でも軟化せず高荷重を支持
絶縁耐力 22KV/mm
耐プラズマ、耐放射線、有機溶剤・グリース耐性
低アウトガス、低パーティクル
優れた機械加工性

◆製品ラインナップ
SCP
シリーズ
ベスペルSCP―5000
ハイグレードポリイミド樹脂
従来の芳香族系ポリイミド樹脂ベスペルSP-1に比べ剛性、衝撃強度を向上。長寿命。
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SP
シリーズ
ベスペルSP―1
ポリイミド樹脂100%
機械強度、耐熱性及び
電気的・熱的絶縁特性に優れています。
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ベスペルSP―202
除電グレード
帯電防止・静電気除去の性質をもつグレードです。
機械加工性がよく、精密・微細な加工も可能です。
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ベスペルSP―1ボール
ベスペルポリイミド樹脂製ボール
在庫品限り、なくなれば終了!
耐熱・耐摩耗性に優れたベスペルポリイミド樹脂製ボールです。
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◆半導体・FPD製造プロセスにおけるベスペル Sラインポリイミドパーツの有効利用
ベスペルパーツは、ウェーハ、FPDを傷つけない弾性、
耐摩耗性、ダンパー特性、絶縁性、低パーティクル性、低アウトガス性をもち、
各種プロセス装置内の重要構成部品として採用されています。
代表的な採用例
成膜工程
スピンテーブルのチャック部品、ガイド部品
チャンバー内のクランプ・チャック部品、ガイド部品、絶縁部品、ネジ
電極カバー
搬送
搬送ハンドのウェーハ、FPD接触部のガイド部品
ウェーハピックアップ時の突き上げ部品、バキューム部品
ダイシング後のチップ吸着・搬送部品
検査工程
プローブカードのプローブ保持部品
ウェーハステージ
ICソケット

ベスペルは米国デュポン社の登録商標です。


■石原薬品の製品ラインナップ
◇ セラミックス製品 ◇
マコール
Hタイプ
Pタイプ+ローテックTM
窒化ホウ素+窒化アルミ
アルミナ
ジルコニア
炭化ケイ素
グラッシーカーボン+石英