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製品詳細
- 石原薬品(株)
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【所在地】〒110-0016東京都台東区台東2-26-11
【電話番号】03-3832-8117 【FAX番号】03-3832-8134
| ポリイミド樹脂ベスペル |
| ベスペル 1962年の商品化以来、現在に至るまでさまざまな業界の部品として幅広く使用されております。 |
◆特徴
| ● | 超耐熱性 | |
| ・連続使用温度 288℃ ・超耐熱性 断続使用温度 480℃ ・超耐熱性 極低温(1K以下)使用可能 |
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| ● | 無潤滑下での限界PV値は汎用エンプラの10倍以上 | |
| ● | 高温下でも軟化せず高荷重を支持 | |
| ● | 絶縁耐力 22KV/mm | |
| ● | 耐プラズマ、耐放射線、有機溶剤・グリース耐性 | |
| ● | 低アウトガス、低パーティクル | |
| ● | 優れた機械加工性 |
◆製品ラインナップ
| SCP シリーズ |
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ベスペル
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| SP シリーズ |
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ベスペル
電気的・熱的絶縁特性に優れています。
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ベスペル
機械加工性がよく、精密・微細な加工も可能です。
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ベスペル
耐熱・耐摩耗性に優れたベスペル
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◆半導体・FPD製造プロセスにおけるベスペル
| ベスペル 耐摩耗性、ダンパー特性、絶縁性、低パーティクル性、低アウトガス性をもち、 各種プロセス装置内の重要構成部品として採用されています。 |
| 代表的な採用例 | ||
| ● | 成膜工程 | |
| スピンテーブルのチャック部品、ガイド部品 チャンバー内のクランプ・チャック部品、ガイド部品、絶縁部品、ネジ 電極カバー |
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| ● | 搬送 | |
| 搬送ハンドのウェーハ、FPD接触部のガイド部品 ウェーハピックアップ時の突き上げ部品、バキューム部品 ダイシング後のチップ吸着・搬送部品 |
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| ● | 検査工程 | |
| プローブカードのプローブ保持部品 ウェーハステージ ICソケット |
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ベスペル
■石原薬品の製品ラインナップ
◇ セラミックス製品 ◇
マコール
Hタイプ
Pタイプ+ローテックTM
窒化ホウ素+窒化アルミ
アルミナ
ジルコニア
炭化ケイ素
グラッシーカーボン+石英




