問題発見のために統計的ｱﾌﾟﾛｰﾁをしませんか

［工程のスクリーニング］

一連の工程の中から不適合な工程や不安定な工程を素早く見つけ出し、注目した工程の管理図や工程能力レポートを簡単に作成できます。

［半導体ウェハー上の不良解析］

・階層型クラスター分析

空間における不具合の発生パターンをグループ分けできます。工程のパラメータ情報と突き合せれば、その原因を分析することも可能となります。