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製品詳細
(株)日本レーザー
ナノポジショニング・リニアステージ(ピエゾ駆動直進ステージ)
Newport社 リニアステージ
優れた位置決め分解能、軸対荷重、長期の位置決め安定性
- (株)日本レーザー
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【所在地】〒169-0051東京都新宿区西早稲田2-14-1
【電話番号】03-5285-0861 【FAX番号】03-5285-0860
製品選定でお悩みの際は、日本レーザーまでご連絡ください。 03-5285-0861 |
ナノメートル分解能の圧電素子モータベース・直進ステージ | |
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◆概要 |
Picomotorまたはピエゾモータ使用のナノメートル分解能 高精度ステージを、種々取り揃えています。 |
◆活用事例 |
高い分解能で位置決めが必要な光学/機械装置 への組み込みなど |
◆主な仕様 |
詳しくは製品ページをご覧ください。(日本レーザーWEBサイトに移動します) |
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Picomotor™ 内蔵直進ステージはPicomotor™アクチュエータを搭載し、卓越した安定性と剛性を提供するだけでなく、リモートコントロール操作も可能です。このモータ駆動ステージはステンレススチール製で、つまみネジによるロック付きです。 移動距離は13mmで、研究室用途、OEM用途、製造現場での要求レベルが高いアプリケーションに適しています。 ゴシックアーチベアリングにより、ボールベアリングのスムーズな動作に加え、高い硬度とリピータビリティーを達成しています。このユニークなゴシック式形状により設置面積が増えたことで、荷重と慣性力がより均等に分布するようになりました。 |
◆日本レーザーの製品ラインナップ |
Newport社 電動ステージ | ||||||
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【パターン・ジェネレータ】 (レーザー描画装置・レーザー加工装置) | |
高速/高精細レーザー直接描画装置“VPG200/400” 【生産用途】 マスクレス・リソグラフィ装置 フラッグシップ・モデル“DWL2000/4000” 【生産・開発用途】 R&D用マスクレス・リソグラフィ装置 最上位モデル“DWL66+” 【研究・開発用途】 卓上型マスクレス・リソグラフィ装置“μPG501/μPG101” 【研究・開発用途】 |
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【パルスレーザー】 | |
パルスファイバーレーザーredENERGY G4 高繰返しLD励起パルス固体レーザー(IMPACTシリーズ) |
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【インプリント】 | |
UV式mini ナノインプリント装置 EUN-4200 熱式miniインプリント装置 EHN-3250 |
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【粒度分布計測】 | |
レーザー回折式 粒度分布測定(乾式・湿式) HELOS&RODOS |
【ピエゾシステムイエナ社の光学機器〈アプリケーション例〉】 | |||||||||||||
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ファイバー光スイッチ/マルチプレクサ ピエゾ駆動光学マウント ピエゾ駆動ステージ NanoX 高速ポジショナ スタックアクチュエータ |
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