プリズム

製品情報

製品詳細

（株）日本レーザー

電動垂直ステージ（自動垂直ステージ）

メーカーの製品情報サイトはこちら

Newport社 垂直ステージ

滑らかで精密な垂直移動、高感度、優れた再現性

この企業の登録製品はこちら

（株）日本レーザー

【所在地】〒169-0051東京都新宿区西早稲田２－１４－１

【電話番号】03-5285-0861 【FAX番号】03-5285-0860

【URL】https://www.japanlaser.co.jp/

製品選定でお悩みの際は、日本レーザーまでご連絡ください。　03-5285-0861

高耐荷重・ロングトラベルタイプから高精度タイプまで幅広い精密垂直ステージをラインナップ
  • リニアステージへの取り付けも可能 
  • 精密位置決め
  • 真空対応可
  • 特注, OEM可 

◆概要
電動垂直ステージ（自動垂直ステージ）は、フォーカシング、イメージング、計測、検査、レーザー描画などにおける、精密な3次元モーションコントロールに欠かせません。
垂直ステージは、耐荷重、移動量、最小移動量、再現性に基づいてお選びいただけます。Newport社では、高耐荷重でロングトラベルのIMSシリーズから高精度のGTS30Vまで幅広い精密垂直ステージを取り揃えています。垂直ブラケットなどでリニアステージに垂直ステージを組み込むこともできます。
  • 高耐荷重でロングトラベルのIMSシリーズから高精度のGTS30Vまで幅広い精密垂直ステージをラインナップ 
  • 垂直ブラケットなどを使用しリニアステージに垂直ステージを組み込むことが可能 

◆活用事例
半導体ウェハ検査、スキャニング、
顕微鏡、 レーザー加工、自動デバイスアライメント、計測、品質管理など

◆主な仕様
詳しくは製品ページをご覧ください。（日本レーザーWEBサイトに移動します）


GTS30V　高精密垂直直進ステージ
GTS30Vは、0.1μmという最小移動量での微調整が可能な卓越した軌道精度と、30mmの移動範囲を組み合わせた小型垂直ステージです。
アンチクリープクロスローラベアリングのマッチングペアから構成された垂直ガイドシステムの採用により、高精度なリップルフリー動作を実現し、精密研磨された低摩擦リードスクリューを備えるフォルダDCモータにより、極めて滑らかな動作を可能にしています。また、高負荷運転であってもバックドライブを生じずに、最高の位置安定性が得られます。モータとリードスクリュー間を減速ベルトで接続することにより、利用可能な出力トルクがさらに大きくなり、サーボループ感度も低く抑えられます


◆日本レーザーの製品ラインナップ
Newport社 電動ステージ
電動回転ステージ（自動回転ステージ）
1000度/秒の高速回転。大口径＆大荷重
精密ガラススケールエンコーダによる高い再現性、最小移動量、高い精度など
直接駆動の直読式高速回転型から、多用途・低価格タイプまで、100モデル以上を展開
動画公開中
＞詳細はこちら
電動垂直ステージ（自動垂直ステージ）
滑らかで精密な垂直移動、高感度、優れた再現性
高耐荷重・ロングトラベルタイプから高精度タイプまで幅広い精密垂直ステージをラインナップ
＞詳細はこちら
ナノポジショニング・リニアステージ（ピエゾ駆動直進ステージ）
優れた位置決め分解能、軸対荷重、長期の位置決め安定性
ナノメートル分解能の圧電素子モータベース・直進ステージ
動画公開中
＞詳細はこちら
ヘキサポッド 6軸平行キネマティックポジショニングシステム
多軸自由度のステージをコンパクトに構成可能
軌跡コントロール。ソフトウェア上で2つの仮想回転中心を設定可能
独立6軸（X、Y、Z、ピッチ、ロール、ヨー）動作。
複雑なモーションコントロールに高い耐荷重と精度を提供。
動画公開中
＞詳細はこちら

【パターン・ジェネレータ】 （レーザー描画装置・レーザー加工装置）
高速/高精細レーザー直接描画装置“VPG200/400” 【生産用途】
マスクレス・リソグラフィ装置 フラッグシップ・モデル“DWL2000/4000” 【生産・開発用途】
R&D用マスクレス・リソグラフィ装置 最上位モデル“DWL66+” 【研究・開発用途】
卓上型マスクレス・リソグラフィ装置“μPG501/μPG101” 【研究・開発用途】
【パルスレーザー】
パルスファイバーレーザーredENERGY G4
高繰返しLD励起パルス固体レーザー（IMPACTシリーズ）
【インプリント】
UV式mini ナノインプリント装置 EUN-4200
熱式miniインプリント装置 EHN-3250
【粒度分布計測】
レーザー回折式　粒度分布測定（乾式・湿式） HELOS&RODOS

【ピエゾシステムイエナ社の光学機器〈アプリケーション例〉】
半導体分野 ／ 顕微鏡検査（採用例1） ／ 顕微鏡検査（採用例2）
顕微鏡アプリケーション向け製品 ／ ビームシャッター ／ 計量学 ／ オートフォーカス装置
ファイバー光スイッチ/マルチプレクサ
ピエゾ駆動光学マウント
ピエゾ駆動ステージ
NanoX 高速ポジショナ
スタックアクチュエータ