製品詳細

(株)日本レーザー

SECOPTA社 LIBSシステム(インライン向け)

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測定箇所の成分組成を高速定量分析

ファイバー型のLIBS(レーザー誘起ブレークダウン分光)システム

・全ファイバーデリバリ型なので組み込みに最適
・組み込みをサポートするI/O、ソフトウェア完備
・インライン・オンサイト・in situでの多元素定量分析
・高速・高繰返し測定
・僅か数ミリ秒で多元素の定量分析

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(株)日本レーザー

【所在地】〒169-0051東京都新宿区西早稲田2-14-1

【電話番号】03-5285-0861 【FAX番号】03-5285-0860

【URL】https://www.japanlaser.co.jp/

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LIBSシステム概要
SECOPTA社の「fiberLIBS inline」 LIBS(レーザー誘起ブレークダウン分光)システムは、全ファイバーデリバリ型のLIBS分光計です。
LIBS用のパルスレーザー照射、およびプラズマ発光の受光の全ては、ファイバー接続タイプの小型測定ヘッドを介して行えるので、既存システム、既設ラインへの組み込みが容易です。
ソフトウェアについては、アプリケーションに応じて様々な分類手法・定量分析を提供。さらに、インライン・オンライン組み込みを見据えて、PLCとの通信、データ処理・転送、カスタムGUIなどのユーザー要求に対してもサポートしています。

主な特長
フレキシブルなファイバー測定ヘッド
  • 小型ヘッドなので設置の自由度大 
  • 既設ラインへの組み込み/据え付けも簡単 
  • 測定ヘッド先端の保護窓は簡単に交換可能 
オンライン測定用の充実性能
  • 100Hz - 20kHzの高繰返し計測
  • 高速分析(数ミリ秒)
  • TCP/IP経由のデータ転送およびリモート制御 
  • 19inchラックサイズの制御ユニット
洗練されたケモメトリクス(計量化学)
  • 様々なケモメトリクス手法に基づくデータ解析・定量分析  自動分析のためのアルゴリズム構築

主な応用例
オンライン・オンサイト・in situにおいて、成分組成の同定・定量分析が数ミリ秒で行えます。
  • アルミニウム合金や鉄鋼のオンライン成分分析 
  • プロセスモニタリング(例:アブレーション工程のモニタリング) 
  • リサイクル工場でのオンラインスクラップ選別
  • PMI試験(Positive Material Identification)
  • PAMI試験(Positive Alloy Material Identification) 

主な仕様
解析手法 LIBS(レーザー誘起ブレークダウン分光法)
パルスエネルギー 3 mJ
繰り返し周波数 100Hz - 20 kHz
分光器仕様 波長範囲:190 ~ 1000 nm
分解能: 0.05 ~ 1 nm
(アプリケーションによります)
レーザー伝送方式 ファイバー伝送式
ワーキングディスタンス 75mm, 100mm, 150mm, 200mm

◆日本レーザーの製品ラインナップ
LIBS計測(レーザー誘起ブレークダウン分光)システム
LIBSシステム(インライン向け)
ファイバー型のLIBS(レーザー誘起ブレークダウン分光)システム
測定箇所の成分組成を高速定量分析
・全ファイバーデリバリ型なので組み込みに最適
・組み込みをサポートするI/O、ソフトウェア完備
・インライン・オンサイト・in situでの多元素定量分析
・高速・高繰返し測定
・僅か数ミリ秒で多元素の定量分析
>詳細はこちら
LIBSシステム(ラボ用卓上タイプ)
ラボ用の卓上LIBSスキャンシステム
2次元・3次元の組成マッピングが可能
・特別な前処理なしで多元素の高速測定
・カメラ内蔵で実像と組成マップの重ね合わせ
・高い方位分解能
・ビギナーからエキスパートまで対応したソフトウェア
・レーザー安全性に配慮した設計
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LIBSシステム(超高速インライン向け)
完全インライン向けLIBSシステム
20kHzの超高繰返し測定
(カスタムで100kHzまで可)
・IP63クラスの防塵ハウジング
・ダストから光学系を保護するパージエア機構
・高信頼性のMOPAレーザー搭載
・高速データ処理・解析
・TCP/IP経由のデータ転送およびリモート制御
・高速フォーカス追従(MopaLIBS_line & scan)
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【パターン・ジェネレータ】 (レーザー描画装置・レーザー加工装置)
高速/高精細レーザー直接描画装置“VPG200/400” 【生産用途】
マスクレス・リソグラフィ装置 フラッグシップ・モデル“DWL2000/4000” 【生産・開発用途】
R&D用マスクレス・リソグラフィ装置 最上位モデル“DWL66+” 【研究・開発用途】
卓上型マスクレス・リソグラフィ装置“μPG501/μPG101” 【研究・開発用途】
【パルスレーザー】
パルスファイバーレーザーredENERGY G4
高繰返しLD励起パルス固体レーザー(IMPACTシリーズ)
【インプリント】
UV式mini ナノインプリント装置 EUN-4200
熱式miniインプリント装置 EHN-3250
【粒度分布計測】
レーザー回折式 粒度分布測定(乾式・湿式) HELOS&RODOS

【ピエゾシステムイエナ社の光学機器〈アプリケーション例〉】
半導体分野 顕微鏡検査(採用例1) 顕微鏡検査(採用例2)
顕微鏡アプリケーション向け製品 ビームシャッター 計量学 オートフォーカス装置
ファイバー光スイッチ/マルチプレクサ
ピエゾ駆動光学マウント
ピエゾ駆動ステージ
NanoX 高速ポジショナ
スタックアクチュエータ

【Newport社 電動ステージ】
電動直進ステージ(自動直進ステージ)
電動回転ステージ(自動回転ステージ)
電動垂直ステージ(自動垂直ステージ)
ナノポジショニング・リニアステージ(ピエゾ駆動直進ステージ)
ヘキサポッド 6軸平行キネマティックポジショニングシステム