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コグネックス株式会社

画像処理【アプリケーション例】 半導体業界

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コグネックス画像処理によるウェハー検査

半導体製造プロセスのすべての工程に
対応するコグネックスのビジョンシステム

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コグネックス株式会社

【所在地】〒113-6591東京都文京区本駒込2-28-8文京グリーンコート

【電話番号】03-5977-5400 【FAX番号】03-5977-5401

【URL】http://www.cognex.co.jp

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半導体製造の全プロセスに対応する信頼性
アライメント、検査、識別のどの用途であっても、マシンビジョンは、ウェーハ製造からICパッケージングにいたる半導体製造プロセスの全段階で不可欠です。これが、コグネックス製品が全世界で45万台以上もインストールされ、25年以上にわたって業界リーダーであり続けてきた理由です。古い装置のライフサイクルを延ばす改良から、LED、MEMS、およびSoC製造用の新しい装置にいたるまで、コグネックスはその経験を活かして、最も要求の厳しいマシンビジョンの課題に対応するツールを提供し、さらに新たなビジョンツールの開発を続けています。

ウェハーの品質課題
ウェハーは微細化し、薄型化が進み、さらに高価値になっているため、製造プロセスの信頼性とトレーサビリティーがこれまでに比べ、より重要になっています。
生産工程中にウェハーの外観に劇的な影響を与える工程変更があったとしても、コグネックスは正確なアライメントとウェハー読み取りを実現します。
● ウェーハのプリアライメント
コグネックスのソフトウェアは、高い精度でウェーハをプリアライメントし、プロセスツール内でのファインアライメントの手順の数を減らします。
● ウェーハのファインアライメント
PatMaxの特徴検出は、最も難易度の高い条件下でも正確な位置決めを行います。
● ウェーハの読み取り
In-Sight 1720シリーズウェーハリーダは、小型のパッケージと内蔵照明を搭載し、すべてのSEMIコードを確実に読み取ります。
● ウェーハの検査
PatInspectは、シングルステップのアライメントと欠陥検出を可能にします。
● ボンドパッドの検査
人工パターン登録により、あらゆる形状のボンドパッドを検出および検査します。
● プローブ針の検査
専用のソフトウェアでプローブ針先の摩耗を検査し、正確なアライメントを保証します。

ダイ品質を通して
コグネックスのソフトウェアは、ダイシングからアセンブリ工程にわたって、高速で正確な製造を実現するために使用されます。
カラー検査ツールはLEDおよびその他のコンポーネントをテストすることに有効です。
● ダイシングソーのアライメント
PatMaxはダイを正確にアライメントするために使用され、損傷を最小限にして歩留まりを改善します。
● 切断面の検査
PatInspectは、ダイ品質に影響するクラックと破片を検出し、ダイシング装置にリアルタイムでフィードバックします。
● LEDカラーの色検査
コグネックスのカラーツールはLEDの輝度と色を検査し、高品質の生産を保証します。
● ダイソートとボンディング
コグネックスのビジョンツールは、ダイの位置決めとボンディングの高速化を可能にします。

部品実装やトレーサビリティーにいたるまで全プロセスに対応
コグネックスのビジョンツールは、リード部品から最新のSoCおよびMEMSデバイスにいたるまで、さまざまなパッケージタイプに対応できる柔軟性を実現し、一方、DataMan®のIDツールは半導体後工程でのトレーサビリティーを提供します。
● ワイヤボンディング
コグネックスのワイヤボンダパッケージは、リードとパッドの位置決めのほか、ボンディング後の検査を行うためのツールを提供します。
● はんだペーストの検査
PasteInspectソフトウェアは、PCBスクリーン印刷工程の閉ループ制御を行うために、はんだペーストの位置と形状を検査します
● BGAのアライメント
特別に開発されたビジョンツールを使用して、欠落しているはんだボールや不適切なはんだボールを高速で検出し、デバイスを迅速に揃えて配置することを可能にします。
● SMD実装
SMD4は、それぞれのデバイスを認識してPCB上に配置します。CADデータのインポートや、部品データの編集を容易に実行することができます。
● パッケージの識別
IDMaxは、PCBおよびICパッケージ上に印刷、刻印、
およびレーザエッチングされた1Dと2Dコードを読み取ります。

半導体業界用アプリケーション
半導体・エレクトロニクス業界向け
アプリケーションガイド
マシンビジョンおよび識別ソリューションは、アライメント、検査または識別など、ウェハーからICパッケージングまで半導体製造工程のあらゆるステップで重要な要素です。この資料は、半導体およびエレクトロニクス産業向けにご提供しているコグネックスの高度な技術のアプリケーションについてご紹介しています。
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コグネックスの画像処理製品 画像処理とバーコードリーダの活用事例
検査ツール

画像処理とバーコードリーダの活用事例
コグネックスのマシンビジョンとバーコード読み取りツールによって、世界中の会社が アセンブリ検証、 不良品撲滅、 生産自動化、 読み込み困難なバーコードの特定などを通じ、生産性の向上を実現しています。
【産業別導入事例】
各産業の世界中のリーディングカンパニーが使用するコグネックス製品。導入事例はあらゆる産業に渡っております。
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自動化産業
自動化装置
高速、高精度、そして高い信頼性のために、幅広い分野の先進自動化装置に画像処理システムは不可欠です。OEM、製造装置メーカー、装置サプライヤ、ロボットメーカー、システムインテグレータ、工場施設メーカーに、顧客に提供する製品およびソリューションに欠かせない機能としてコグネックスの画像処理装置は採用されています。
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